[發明專利]用于硅系材料蝕刻處理的除熱裝置及除熱裝置的工作方法

在審

• 申請號: 201910285003.7
• 申請日: 2019-04-10
• 公開（公告）號: CN111809244A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 宮尾秀一
• 申請（專利權）人: 西安奕斯偉硅片技術有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;C30B15/00;C30B29/06
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 黃燦;蔡麗

1.用于硅系材料蝕刻處理的除熱裝置，包括試劑槽；設置于試劑槽內的第一換熱器；以及冷凝器，其特征在于，在所述試劑槽與冷凝器之間設置有中間換熱槽；

所述第一換熱器內流通的介質為水，所述第一換熱器的進水口與出水口均與中間換熱槽連接，以形成循環回路；

所述中間換熱槽內設置有第二換熱器，且所述中間換熱槽內填充有水；

所述第二換熱器與冷凝器連接。

2.根據權利要求1所述的除熱裝置，其特征在于，所述第一換熱器的進水口與中間換熱槽之間設置有泵，以驅動第一換熱器內的介質流動。

3.根據權利要求2所述的除熱裝置，其特征在于，所述第二換熱器內流通的冷凝劑為乙二醇的水溶液。

4.根據權利要求1所述的除熱裝置，其特征在于，所述第一換熱器的材質為氟化的飽和烴樹脂。

5.根據權利要求1～4任意一項所述的除熱裝置，其特征在于，所述第二換熱器的材質為鐵或者不銹鋼。

6.根據權利要求1所述的除熱裝置，其特征在于，所述第一換熱器內流通的水為純凈水或者超純水。

7.根據權利要求6所述的除熱裝置，其特征在于，所述第一換熱器為螺旋狀蛇形管式換熱器。

8.根據權利要求1所述的除熱裝置，其特征在于，所述冷凝器還包括第一溫度控制部件，控制冷凝器供應的冷凝劑溫度為3～5℃；所述試劑槽還包括第二溫度控制部件，控制試劑槽內溫度為18～22℃。

9.一種除熱裝置的工作方法，其特征在于，利用權利要求1～8任意一項所述的除熱裝置進行冷卻，監測中間換熱槽內填充的水的pH值；

若所述水的pH值不小于4，則繼續進行冷卻；

若所述水的pH值小于4，則更換中間換熱槽內的水。