[發明專利]一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法

有效

• 申請號: 201910276109.0
• 申請日: 2019-04-08
• 公開（公告）號: CN109950366B
• 公開（公告）日: 2020-07-03
• 發明（設計）人: 劉歡;劉衛國;白民宇;王卓曼;韓軍;舒利利;敬娟;劉蓉
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/0224;B82Y40/00
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 何會俠

1.一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法，其特征在于：包括以下步驟：

在剛性材料基體上表面制作三維微結構，得到剛性基底(1)；

采用壓印方法，以剛性基底(1)為模板，將該模板上表面的三維微結構形狀轉移到柔性材料基體下表面，得到柔性壓板(2)；

對剛性基底(1)進行氧化，在其表面形成一層氧化層；

腐蝕去除剛性基底(1)上表面的氧化層；腐蝕剛性基底之前，在其上表面若干位置覆蓋干膜保護，在腐蝕中干膜覆蓋位置的氧化層得以保留，在剛性基底(1)上表面形成微臺階(3)；

在剛性基底(1)上表面的三維微結構上涂覆導電納米線混合液，然后將柔性壓板(2)下表面與剛性基底(1)上表面相對放置，緩慢移動柔性壓板(2)靠近剛性基底(1)，直到柔性壓板(2)的下表面與微臺階(3)接觸，由于微臺階(3)的存在，柔性壓板(2)與剛性基底(1)之間形成間隙，該間隙內留存有導電納米線混合液；待導電納米線混合液干燥后取下柔性壓板(2)，即得到附著在剛性基底(1)上表面三維微結構表面的透明導電納米線網格薄膜。

2.根據權利要求1所述的一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法，其特征在于：所述剛性基底(1)在涂覆導電納米線混合液之前對其上表面三維微結構表面進行處理，以增強其吸附導電納米線的能力。

3.根據權利要求1所述的一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法，其特征在于：所述的柔性壓板(2)與剛性基底(1)的放置采用光學對準平臺操作，保證柔性壓板(2)下表面的三維微結構和剛性基底(1)上表面的三維微結構對準，相互嵌套。

4.根據權利要求1所述的一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法，其特征在于：所述的剛性基底(1)采用能夠氧化生成氧化層，并能夠腐蝕去除該氧化層的材料。

5.根據權利要求4所述的一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法，其特征在于：所述的剛性基底(1)的材料為單晶硅或多晶硅。

6.根據權利要求1所述的一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法，其特征在于：所述的柔性壓板(2)采用能夠壓印成型的柔性材料。

7.根據權利要求6所述的一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法，其特征在于：所述的柔性材料為PDMS或壓印膠。

8.根據權利要求1所述的一種在三維微結構表面制備透明導電納米線網格薄膜的方法，其特征在于：所述的微臺階(3)，其橫截面尺寸由覆蓋干膜的尺寸決定，其高度由剛性基底(1)的氧化時間和腐蝕時間共同決定；微臺階(3)的高度控制柔性壓板(2)下表面與剛性基底(1)上表面之間的間隙尺寸，進而控制最終所得導電納米線網格薄膜厚度，根據具體需求選擇微臺階(3)的高度。