[發明專利]一種柔性壓力傳感器及其制備方法和診脈儀

在審

• 申請號: 201910274808.1
• 申請日: 2019-04-08
• 公開（公告）號: CN110017937A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 董瑛;楚堯;劉慧梁;韓留洋;王曉浩
• 申請（專利權）人: 清華大學深圳研究生院
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12;G01L1/14;A61B5/02
• 代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205
• 代理人: 唐致明

1.一種柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、在基底上設置柔性高分子材料層，而后在所述柔性高分子材料層上制造若干孔洞，將帶有孔洞的柔性高分子材料層從基底上剝離，制得柔性隔離層；

S2、在所述柔性隔離層的兩面貼合設置駐極體層；

S3、分別在所述駐極體層上背離所述柔性隔離層的表面設置電極層。

2.根據權利要求1所述的柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，還包括：

S4、將所述柔性隔離層上孔洞中的空氣介質電離。

3.根據權利要求2所述的柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，步驟S4中，采用電暈充電法將柔性隔離層上孔洞中的空氣介質電離。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，步驟S1中，將帶有孔洞的柔性高分子材料層從基體上剝離后，還包括對所述帶有孔洞的柔性高分子材料層進行表面改性處理，制得柔性隔離層；

和/或，步驟S2具體包括先對駐極體層進行表面改性處理，再將處理后的駐極體層貼合設于所述柔性隔離層的兩表面上；

所述表面改性處理選自氧等離子體刻蝕處理、化學試劑浸泡處理中的至少一種，所述化學試劑浸泡處理所采用的化學試劑選自硅烷偶聯劑。

5.根據權利要求1所述的柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，步驟S1中，所述孔洞呈陣列式排布。

6.根據權利要求5所述的柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，所述柔性隔離層上的孔洞率為10～70％。

7.根據權利要求6所述的柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，所述孔洞的直徑為1～5mm，中心間距為1.2～30mm。

8.根據權利要求1所述的柔性壓力傳感器的制備方法，其特征在于，步驟S1中，所述柔性隔離層的厚度為100～500μm；步驟S2中，所述駐極體層的厚度為10～50μm。

9.一種柔性壓力傳感器，其特征在于，所述柔性壓力傳感器由權利要求1-8中任一項所述的柔性壓力傳感器的制備方法制得，包括由下至上依次設置的第一電極層、第一駐極體層、柔性間隔層、第二駐極體層和第二電極層；所述柔性間隔層上設有若干個孔洞。

10.一種診脈儀，其特征在于，包括權利要求9所述的柔性壓力傳感器。