[發明專利]一種MEMS硅麥克風自動測試的音源微型腔體

在審

• 申請號: 201910273864.3
• 申請日: 2019-04-07
• 公開（公告）號: CN110087174A
• 公開（公告）日: 2019-08-02
• 發明（設計）人: 馮曉;曹永;謝明
• 申請（專利權）人: 南京思特倍自動化設備有限公司
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;H04R29/00
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 黃冠華

本發明公開了一種MEMS硅麥克風自動測試的音源微型腔體，包括聲腔，所述聲腔下部開設長方體狀的容納腔，所述容納腔內安裝有微型喇叭，所述聲腔頂部開有音孔，所述聲腔的底部開有聲壓泄放孔，所述聲腔上方設有導針板，所述導針板上方安裝有導針座，所述導針座上方設有硅麥放置槽；該音源微型腔體通過在聲腔內聲腔下部開設長方體狀的容納腔，所述容納腔內安裝有微型喇叭，然后微型喇叭發出的聲音穿過音孔，由放置在聲腔上部的硅麥接收聲信號并送到后面測量系統進行相關聲學測試；與傳統測量的大體積腔體相比近似為1:30，有效降低了工業自動化測量硅麥設備的設計與制造工藝以及硅麥測量的復雜度與難點，且測試效率提高了3倍以上。

技術領域

本發明涉及硅麥克風測試裝備技術領域，特別涉及一種MEMS硅 麥克風測試的音源微型腔體。

背景技術

在自動化測試硅麥的過程有兩個最重要的指標。一個是測量準確 率或誤差率(％)，另一個是測量速率(單個-自動測試)(單位：千個 /小時)。

現在市場上(國內外)硅麥克風自動測試的產品都是大腔體式的， 該產品的缺點是大腔體(喇叭+音罐)喇叭直徑至少3寸，再放入音 罐，直徑最少5寸，這樣8個硅麥的同時測量時，要求安裝多8個音 罐，而硅麥尺寸圓形直徑在3mm、矩形尺寸在2.8mm×1.9mm，按一對一的測量需要，一個硅麥對應一個音罐，顯然自動化測試實現有 很多困難的，且會帶來設備尺寸和成本的幾何增長。再者，閉箱的微 型腔體從設計角度會遇到非常復雜的聲學計算與工藝的問題(通常需 要估算與后期校正)，還需要大量的實驗驗證與軟件對測量結果的校 正驗證。

此外，現行的國際與國內聲學相關測量標準(音腔結構與有效體積 的IEC60318標準)的語法規范只是給出的較大(直徑5寸或稍大) 音腔(人工嘴)的計算原則。而沒有微型腔體設計的相應的標準。

發明內容

為了解決現有的MEMS硅麥克風測試腔體都是大腔體，不能夠滿 足多個腔體同時測量的問題，本發明提供一種體積小的音源微型腔體。

為了實現上述目的，本發明提供的技術方案是：一種MEMS硅麥 克風自動測試的音源微型腔體，包括聲腔，所述聲腔下部開設長方體 狀的容納腔，所述容納腔內安裝有微型喇叭，所述聲腔頂部開有音孔， 所述聲腔的底部開有聲壓泄放孔，所述聲腔上方設有導針板，所述導 針板上方安裝有導針座，所述導針座上方設有硅麥放置槽。

在上述技術方案的基礎上，所述微型喇叭安裝在所述容納腔整體 高度的上部1/3位置，所述微型喇叭的振膜朝向所述音孔；所述容納 腔下部整體高度的2/3為后腔，后腔底部設有喇叭固定板，所述喇叭 固定板下方設有底蓋。

在上述技術方案中，所述導針板上開設有兩個圓形的通孔。

進一步的，所述導針座包括基座，所述基座上方設有硅麥放置座。

在上述技術方案的基礎上，優選的，所述硅麥放置座上開設有兩 個硅麥放置槽。

作為優選的技術方案，所述音孔的直徑為0.8-1.2mm。

優選的，所述聲壓泄放孔的直徑為0.5-0.9mm。

在上述技術方案的基礎上，優選的，所述聲壓泄放孔開設在所述 聲腔底部的兩側且與距離聲腔邊緣2-3mm。

進一步的，所述導針座上方設有上音蓋，所述上音蓋上開有硅麥 接收音孔。

在上述技術方案中，作為進一步優選的技術方案，所述容納腔的四個 角開設有半圓形的凹槽。