[發(fā)明專(zhuān)利]復(fù)合傳感器及其制作方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910272024.5
• 申請(qǐng)日: 2019-04-04
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111780899B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-04-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李森林
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 武漢杰開(kāi)科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01L1/20
• 分類(lèi)號(hào): G01L1/20;G01L1/00;G01P15/00
• 代理公司: 深圳市威世博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44280
• 代理人: 鐘子敏

1.一種復(fù)合傳感器，其特征在于，包括：

第一基材，及與所述第一基材層疊設(shè)置第二基材；

位于所述第一基材的壓力傳感器，用于感知外界壓力的變化；

位于所述第二基材的加速度傳感器，用于感知加速度的變化；

其中，所述壓力傳感器的壓力膜與所述第二基材間隔設(shè)置，形成壓力腔，所述加速度傳感器的質(zhì)量塊與所述第一基材間隔設(shè)置，形成第一防撞腔；其中，所述第一防撞腔與所述壓力腔錯(cuò)開(kāi)設(shè)置，所述壓力膜與所述質(zhì)量塊錯(cuò)開(kāi)設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合傳感器，其特征在于，包括：

所述壓力腔由所述第一基材鄰近所述第二基材的表面內(nèi)凹形成，所述第一基材在所述壓力腔位置厚度減薄形成所述壓力膜；

所述第一防撞腔與所述壓力腔連通且并排設(shè)置，所述第一防撞腔由所述第一基材鄰近所述第二基材的表面內(nèi)凹形成，所述第一防撞腔深度小于所述壓力腔深度；

其中，所述質(zhì)量塊對(duì)應(yīng)所述第一防撞腔設(shè)置，在向所述第一基材方向振動(dòng)時(shí)至少部分落入所述第一防撞腔內(nèi)且不接觸所述第一基材。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的復(fù)合傳感器，其特征在于，包括：

所述第二基材遠(yuǎn)離所述第一基材的表面對(duì)應(yīng)所述壓力腔位置內(nèi)凹形成懸臂腔，所述第二基材對(duì)應(yīng)所述懸臂腔位置厚度減薄形成懸臂梁；

所述第二基材遠(yuǎn)離所述第一基材的表面對(duì)應(yīng)所述第一防撞腔位置內(nèi)凹形成第二防撞腔，所述第二防撞腔深度小于所述懸臂腔深度，所述第二基材對(duì)應(yīng)所述第二防撞腔位置厚度減薄形成所述質(zhì)量塊；

其中，所述質(zhì)量塊在背向所述第一基材方向振動(dòng)時(shí)至少部分落入所述第二防撞腔內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的復(fù)合傳感器，其特征在于，包括：

所述質(zhì)量塊的一端通過(guò)所述懸臂梁與所述第二基材連接，以使所述質(zhì)量塊懸空設(shè)置，進(jìn)而使得所述懸臂腔、所述第二防撞腔、所述第一防撞腔以及所述壓力腔相互連通；或

所述質(zhì)量塊相對(duì)兩端通過(guò)所述懸臂梁與所述第二基材連接，以使所述質(zhì)量塊懸空設(shè)置，使得所述懸臂腔、所述第二防撞腔、所述第一防撞腔以及所述壓力腔相互連通。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合傳感器，其特征在于，包括：

位于所述第一基材遠(yuǎn)離所述第二基材表面依序連接的第一焊盤(pán)、第一導(dǎo)線(xiàn)以及位于所述壓力膜邊緣的第一壓敏電阻；

位于所述第二基材鄰近所述第一基材表面依序連接的第二焊盤(pán)、第二導(dǎo)線(xiàn)，及位于懸臂梁邊緣的第二壓敏電阻。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合傳感器，其特征在于，還包括位于所述第二基材遠(yuǎn)離所述第一基材表面的第三基材，其中，所述第一基材與所述第二基材鍵合，所述第二基材與所述第三基材鍵合；

所述第三基材材料為硅材料或玻璃材料中的一種或任意組合，所述第一基材及第二基材材料為硅材料或二氧化硅的一種或任意組合，所述第一基材、第二基材及所述第三基材通過(guò)粘結(jié)劑粘結(jié)。

7.一種復(fù)合傳感器的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

提供第一基材及第二基材；

利用所述第一基材一部分材料形成壓力傳感器，利用所述第二基材一部分材料形成加速度傳感器；

將所述第一基材和所述第二基材層疊設(shè)置，其中所述壓力傳感器的壓力膜與所述第二基材間隔設(shè)置，形成壓力腔，所述加速度傳感器的質(zhì)量塊與所述第一基材間隔設(shè)置，形成第一防撞腔；其中，所述第一防撞腔與所述壓力腔錯(cuò)開(kāi)設(shè)置，所述壓力膜與所述質(zhì)量塊錯(cuò)開(kāi)設(shè)置。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的復(fù)合傳感器的制作方法，其特征在于，所述利用所述第一基材一部分材料形成壓力傳感器，包括：

在所述第一基材遠(yuǎn)離所述第二基材的表面形成依序連接的第一焊盤(pán)、第一導(dǎo)線(xiàn)以及第一壓敏電阻；

所述利用所述第二基材一部分材料形成加速度傳感器，包括：

在所述第二基材鄰近所述第一基材的表面形成依序連接的第二焊盤(pán)、第二導(dǎo)線(xiàn)及第二壓敏電阻。