[發(fā)明專利]一種真空鍍膜濺射靶材鍍穿警報(bào)裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910271492.0
• 申請日: 2019-04-04
• 公開（公告）號(hào): CN109825810A
• 公開（公告）日: 2019-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬毅;黃先偉;宋宇軒;俞越翎;張?zhí)┤A
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 杭州浙科專利事務(wù)所(普通合伙) 33213
• 代理人: 吳秉中

本發(fā)明公開了一種真空鍍膜濺射靶材鍍穿警報(bào)裝置，其特征在于，包括金屬固定座，所述金屬固定座中心位置設(shè)有安裝孔，所述安裝孔內(nèi)設(shè)有靶材、環(huán)形中空氣壓片及冷卻水銅板，所述靶材、環(huán)形中空氣壓片及冷卻水銅板依次疊加設(shè)置在安裝孔內(nèi)，所述環(huán)形中空氣壓片外接連管，所述連管端部設(shè)有氣壓指示器，并通過氣壓指示器實(shí)時(shí)測量環(huán)形中空氣壓片內(nèi)部的氣壓。本發(fā)明的有益效果：設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)合理，使用方便。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于濺射鍍膜操作安全領(lǐng)域，具體涉及一種真空鍍膜濺射靶材鍍穿警報(bào)裝置。

背景技術(shù)

濺射靶材的要求較傳統(tǒng)材料行業(yè)高，一般要求如尺寸、平整度、純度、各項(xiàng)雜質(zhì)含量、密度、晶粒尺寸與缺陷控制等。磁控濺射鍍膜是一種新型的物理氣相鍍膜方式，就是用電子槍系統(tǒng)把電子發(fā)射并聚焦在被鍍的材料上，使其被濺射出來的原子遵循動(dòng)量轉(zhuǎn)換原理以較高的動(dòng)能脫離材料飛向基片淀積成膜，這種被鍍的材料就叫濺射靶材。濺射靶材有金屬，合金，陶瓷化合物等。

目前，主要依靠人的觀察經(jīng)驗(yàn)來預(yù)防靶材的鍍穿，而且在靶材鍍穿后，沒有警報(bào)系統(tǒng)，機(jī)器將繼續(xù)濺射冷卻水銅板，此時(shí)會(huì)產(chǎn)生極大的危險(xiǎn)。因此如何快速地、低成本地、操作簡便地實(shí)現(xiàn)靶材鍍穿警報(bào)十分關(guān)鍵，已經(jīng)成為影響薄膜研發(fā)領(lǐng)域的關(guān)鍵難題。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種真空鍍膜濺射靶材鍍穿警報(bào)裝置，以實(shí)現(xiàn)快速地、低成本地、操作簡便地實(shí)現(xiàn)靶材鍍穿警報(bào)。

本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:

一種真空鍍膜濺射靶材鍍穿警報(bào)裝置，其特征在于，包括金屬固定座，所述金屬固定座中心位置設(shè)有安裝孔，所述安裝孔內(nèi)設(shè)有靶材、環(huán)形中空氣壓片及冷卻水銅板，所述靶材、環(huán)形中空氣壓片及冷卻水銅板依次疊加設(shè)置在安裝孔內(nèi)，所述環(huán)形中空氣壓片外接連管，所述連管端部設(shè)有氣壓指示器，并通過氣壓指示器實(shí)時(shí)測量環(huán)形中空氣壓片內(nèi)部的氣壓。

所述的一種真空鍍膜濺射靶材鍍穿警報(bào)裝置，其特征在于，所述環(huán)形中空氣壓片內(nèi)部設(shè)有一組由內(nèi)及外的環(huán)形中空室，所述環(huán)形中空氣壓片內(nèi)部還設(shè)有出氣通道，且環(huán)形中空室的進(jìn)出氣口分別與出氣通道相連通，并通過出氣通道與連管相連通。

所述的一種真空鍍膜濺射靶材鍍穿警報(bào)裝置，其特征在于，所述金屬固定臺(tái)頂部邊緣位置設(shè)有三個(gè)呈120°分布的夾緊片，并通過夾緊片將靶材頂部壓緊固定在金屬固定臺(tái)上。

所述的一種濺射鍍膜半導(dǎo)體制冷片靶材冷卻裝置，其特征在于，所述金屬固定臺(tái)采用圓柱體結(jié)構(gòu)，所述安裝孔為環(huán)形孔，所述靶材、環(huán)形中空氣壓片及冷卻水銅板均為圓形結(jié)構(gòu)，所述靶材、環(huán)形中空氣壓片及冷卻水銅板均配合設(shè)置在環(huán)形孔內(nèi)。

本發(fā)明的有益效果：設(shè)計(jì)巧妙，結(jié)構(gòu)合理，使用方便，應(yīng)用本裝置實(shí)現(xiàn)濺射靶材鍍穿警報(bào)，大幅簡化了人的觀察操作過程，降低了濺射靶材鍍穿后的風(fēng)險(xiǎn)，提高了安全性，對薄膜的研究領(lǐng)域具有重要的意義。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明的環(huán)形中空氣壓片內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：1-金屬固定座，2-靶材，3-夾緊片，4-環(huán)形中空氣壓片，5-冷卻水銅板，6-氣壓指示器，7-連管。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合說明書附圖對本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的描述：

如圖1-2所示，一種真空鍍膜濺射靶材鍍穿警報(bào)裝置，包括金屬固定座1、靶材2、夾緊片3、環(huán)形中空氣壓片4、冷卻水銅板5、氣壓指示器6及連管7。