[發明專利]華夫孔自動清洗裝置

在審

• 申請號: 201910271322.2
• 申請日: 2019-04-04
• 公開（公告）號: CN110116106A
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 吳林榮
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B13/00
• 代理公司: 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300
• 代理人: 黃威

一種華夫孔自動清洗裝置，包括：控制系統、清洗刷以及清洗桶；其中，所述控制系統還包括一根主軸，所述控制系統通過主軸與所述清洗刷相連，用于控制所述清洗刷的運動；所述清洗刷設置在所述主軸上，所述控制系統的下方；所述清洗桶內盛裝清洗液，但不直接與所述控制系統相連；有益效果：與現有技術相比，本申請提供的一種華夫孔自動清洗裝置，包括控制系統、清洗刷以及清洗桶，所述清洗刷通過一根主軸與所述控制系統相連，由所述控制系統控制所述清洗刷上、下、左、右移動以及旋轉運動，以進行清洗，同時，所述清洗桶上裝有滾輪，所述清洗桶在所述控制系統的控制下進行運動，對華夫孔進行自動清洗，改善了人力清洗華夫孔難以及不安全等的現狀。

技術領域

本申請涉及集成電路廠房領域，特別是涉及一種華夫孔自動清洗裝置。

背景技術

目前世界范圍內，各超大規模的集成電路產業不斷發展，對潔凈廠房的凈化級別要求不斷提高，為滿足廠房潔凈等級要求及溫濕度要求，現階段的潔凈廠房一般采用華夫板，利用華夫板及回風夾道的循環且通過空調送排風系統來控制潔凈廠房級別在需求范圍內。華夫板上有大量定型排列的華夫孔(FRP)，可提供廠房核心區域(二層)與輔助層(一層)的管路聯絡以及作為潔凈空調的通風道，將上層區域的顆粒物通過風機過濾機組(FFU，fanfilter units)華夫桶排到輔助層。

潔凈廠房建設初步建設完成后，需要對華夫孔進行清潔，使廠房潔凈度達標，避免華夫孔中的施工殘留顆粒影響產品良率。目前清潔方式為人員手動對華夫孔一個接一個進行清潔。由于華夫孔排布密集，數量眾多，人員清洗費時費力，且孔洞深度深，人員手動清洗時有墜落的安全風險。

因此，現有的華夫板清洗技術中，還存在著華夫孔排布密集，數量眾多，人力清洗難以及不安全等問題，急需改進。

發明內容

本申請涉及一種華夫孔自動清洗裝置，用于解決現有技術中存在的華夫孔排布密集，數量眾多，人力清洗難以及不安全等問題。

為解決上述問題，本申請提供的技術方案如下：

本申請提供的一種華夫孔自動清洗裝置，包括：控制系統、清洗刷以及清洗桶；其中，

所述控制系統還包括一根主軸，所述控制系統通過主軸與所述清洗刷相連，用于控制所述清洗刷的運動；

所述清洗刷設置在所述主軸上，所述控制系統的下方；

所述清洗桶內盛裝清洗液，所述清洗桶由所述控制系統控制。

根據本申請提供的一優選實施例，所述控制系統可控制所述清洗刷沿X軸平移、Y軸平移以及Y軸旋轉運動。

根據本申請提供的一優選實施例，所述控制系統內還包括：電機、信號輸入單元、信號處理單元以及信號輸出單元。

根據本申請提供的一優選實施例，所述清洗桶包括：桶身、桶蓋、滾輪以及紅外感應器。

根據本申請提供的一優選實施例，所述滾輪的數量至少為3個。

根據本申請提供的一優選實施例，所述滾輪可滑動或是旋轉運動。

根據本申請提供的一優選實施例，所述桶蓋與所述桶身之間通過轉軸連接。

根據本申請提供的一優選實施例，所述轉軸連接為水平轉軸連接或是豎直轉軸連接。

根據本申請提供的一優選實施例，所述清洗刷與所述主軸可拆卸連接。

根據本申請提供的一優選實施例，所述清洗刷的寬度等于所述華夫孔的寬度，小于所述清洗桶的寬度；所述清洗刷的高度大于所述華夫孔的高度，小于所述清洗桶的高度。