[發明專利]具有離線真空度保持功能的載板

在審

• 申請號: 201910266021.0
• 申請日: 2019-04-03
• 公開（公告）號: CN109994396A
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發明（設計）人: 葉欣;汪輝;高振波;洪昀;金光前;張鑫;陳雷雷;何守龍
• 申請（專利權）人: 杭州中為光電技術有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/683
• 代理公司: 浙江英普律師事務所 33238
• 代理人: 陳小良

1.具有離線真空度保持功能的載板，包括載板本體(1)，其特征是：在所述載板本體(1)內設置有真空腔(2)，在所述載板本體(1)的一個側面上設置有吸附孔(3)，所述吸附孔(3)與所述真空腔(2)相通，在所述載板本體(1)上設置有使真空腔(2)產生真空的真空發生裝置，所述真空發生裝置包括儲氣罐(4)、真空發生器(5)、氣嘴(6)、破真空閥(7)、檢測真空腔(2)內真空度的真空度檢測器(8)、進氣閥(9)和控制器，所述氣嘴(6)通過進氣閥(9)與所述儲氣罐(4)相通，所述儲氣罐(4)通過真空發生器(5)與真空腔(2)相通，所述儲氣罐(4)通過破真空閥(7)與外界相通，所述真空度檢測器(8)與所述控制器通訊，所述破真空閥(7)、進氣閥(9)和真空發生器(5)均由所述控制器控制工作。

2.根據權利要求1所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：所述載板本體(1)包括具有槽體的第一部分(10)和蓋合所述槽體形成真空腔(2)的第二部分(11)，所述吸附孔(3)均布于所述第二部分(11)上。

3.根據權利要求1所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：該載板還包括氣源和氣源開閉閥(12)，所述氣源通過氣源開閉閥(12)與所述氣嘴(6)相通，所述氣源和所述氣源開閉閥(12)均由所述控制器控制工作。

4.根據權利要求3所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：所述氣源開關閥固定于與載板配合的機架上。

5.根據權利要求1所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：所述真空度傳感器包括真空度檢測閥(13)、光電傳感器(14)、反射器(15)和驅動所述反射器(15)往復運動的驅動器(16)，所述光電傳感器(14)與所述控制器通訊，所述驅動器(16)由所述真空度檢測閥(13)控制工作，驅動器(16)根據真空度檢測閥(13)的動作控制所述反射器(15)往復運動，所述光電傳感器(14)檢測所述反射器(15)反饋的信號，并將檢測到的信號傳送至控制器，所述光電傳感器(14)固定于與載板配合的機架上。

6.根據權利要求4所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：所述驅動器(16)為驅動氣缸，所述驅動氣缸包括缸體(17)和活塞桿(18)，所述反射器(15)固定于所述活塞桿(18)上，所述驅動氣缸還包括使所述活塞桿(18)復位的復位彈簧(19)。

7.根據權利要求6所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：所述復位彈簧(19)的一端與所述活塞桿(18)固定連接，所述復位彈簧(19)的另一端固定于所述載板本體(1)上，在所述載板本體(1)上固定有定位復位彈簧(19)的定位塊(20)，所述復位彈簧(19)通過螺釘固定于所述定位塊(20)上。

8.根據權利要求1所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：所述破真空閥(7)包括閥體和控制閥體工作的第一執行氣缸，所述第一執行氣缸由所述控制器控制工作，所述第一執行氣缸固定于與載板配合的機架上。

9.根據權利要求1所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：所述進氣閥(9)包括閥門組件和控制所述閥門組件工作的第二執行氣缸，所述第二執行氣缸由所述控制器控制工作，所述第二氣缸固定于與載板配合的機架上。

10.根據權利要求1所述的具有離線真空度保持功能的載板，其特征是：所述進氣閥(9)和所述破真空閥(7)的開閉狀態相反，所述進氣閥(9)和所述破真閥通過先導氣路實現進氣閥(9)和所述破真空閥(7)的開閉狀態相反。