[發明專利]光路校準方法及校準裝置

有效

• 申請號: 201910263951.0
• 申請日: 2019-04-01
• 公開（公告）號: CN109916596B
• 公開（公告）日: 2020-12-08
• 發明（設計）人: 董會;姚威
• 申請（專利權）人: 歌爾光學科技有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 胡海國

本申請公開一種光路校準方法及校準裝置，所述光路校準裝置包括采集單元、固定裝置與探針，所述探針包括第一探針，所述采集單元包括第一采集單元，所述固定裝置包括自由端，所述光路校準方法包括：調整所述第一探針位置，對所述第一采集單元進行校準；當所述第一采集單元校準完成時，根據所述第一探針的位置，確定所述自由端的第一測試位置；將所述固定裝置移動至所述第一測試位置，將所述固定裝置與待測產品固定連接；對所述待測產品進行光路校準。本申請提供一種光路校準方法及校準裝置，旨在解決現有技術中光學測量系統受制于標準樣品，測量精度不高的問題。

技術領域

本申請涉及光學測量技術領域，尤其涉及一種光路校準方法及校準裝置。

背景技術

在對高精度的光學產品進行光學測量時，通常是采用采集單元拍攝產品的目標圖像，并對圖像進行計算后得到檢測結果，由于光學測量對光學系統的精度要求較高，因此光學系統的光路校準精度是保證光學測量精度的前提。現有的光學系統校準，通常是采用標準樣品，對采集單元的光軸中心和標準樣品的投影圖像中心對準的方式對光路進行校準，但是這種校準方式會受制于標準樣品的加工精度影響，當標準樣品的加工精度低，無法滿足光學測量系統的測量精度要求時，光學系統測量即無法達到要求的測量精度。

發明內容

本申請提供一種光路校準方法及校準裝置，旨在解決現有技術中光學測量系統受制于標準樣品，測量精度不高的問題。

為實現上述目的，本申請提出了一種光路校準方法，所述光路校準方法應用于光路校準裝置，所述光路校準裝置包括采集單元、固定裝置與探針，所述探針包括第一探針，所述采集單元包括第一采集單元，所述固定裝置包括自由端，所述光路校準方法包括：

調整所述第一探針位置，對所述第一采集單元進行校準；

當所述第一采集單元校準完成時，根據所述第一探針的位置，確定所述自由端的第一測試位置；

將所述固定裝置移動至所述第一測試位置，將所述固定裝置與待測產品固定連接；

對所述待測產品進行光路校準。

可選地，所述調整所述第一探針位置，對所述第一采集單元進行校準，包括：

沿所述第一采集單元的信號采集方向調整所述第一探針的位置；

根據所述第一探針的位置調整所述第一采集單元的位置或角度，完成所述第一采集單元的校準。

可選地，所述根據所述第一探針的位置調整所述第一采集單元的位置或角度，完成所述第一采集單元的校準，包括：

移動所述第一探針至第一校準位置，調整所述第一采集單元，使所述第一采集單元接收到清晰的像；

調整所述第一采集單元，使所述第一探針的針尖與所述第一采集單元成像顯示的第一目標位置重合；

調整所述第一探針至第二校準位置，調整所述第一采集單元，使所述第一采集單元接收到清晰的像；其中，所述第二校準位置與所述第一校準位置不重合，并且所述第一校準位置、所述第二校準位置以及所述第一采集單元位于同一直線；

獲取所述第一探針的針尖在所述第一采集單元中顯示的位置；

當所述第一探針的針尖與第一目標位置重合時，完成所述第一采集單元位置的校準。

可選地，所述獲取所述第一探針的針尖在所述第一采集單元中顯示的位置，之后還包括：

當所述第一探針的針尖與第一目標位置不重合時，執行所述移動所述第一探針位于第一校準位置，調整所述第一采集單元，使所述第一采集單元接收到清晰的像的步驟。