[發明專利]一種空腔式壓力傳感器及其制備方法

有效

• 申請號: 201910263937.0
• 申請日: 2019-04-03
• 公開（公告）號: CN110054148B
• 公開（公告）日: 2021-05-07
• 發明（設計）人: 姚文靜;張健;李佳;黃淳;石雅琳;康玲
• 申請（專利權）人: 華東師范大學
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;B81B3/00;G01L1/20
• 代理公司: 上海藍迪專利商標事務所(普通合伙) 31215
• 代理人: 徐筱梅;張翔

1.一種空腔式壓力傳感器制備方法，其特征在于，該方法包括以下具體步驟：

步驟1：選取邊長為若干厘米的聚酰亞胺薄膜并清洗，在其上表面、下表面各貼一層感光干膜；

步驟2：用打孔機將步驟1所得的薄膜打孔，在薄膜上形成一個孔洞；

步驟3：選一襯底，利用無水乙醇、丙酮清洗襯底表面5～10分鐘，利用甩膠機旋涂一層厚度為20～30um、質量比為12wt%的聚酰胺酸置于襯底上；

步驟4：在步驟3所得襯底上貼敷一層感光干膜，使之表面平整、無氣泡及無褶皺；

步驟5：光刻步驟4所得的襯底上的感光干膜，具體包括：

ⅰ）噴墨打印機將圖形打印至菲林片上，制作光刻掩模版；

ⅱ）在貼敷感光干膜的襯底上，將感光干膜表層的保護膜撕掉，再將光刻掩模版放置于貼敷撕掉保護膜的感光干膜的襯底上進行掩膜光刻；

ⅲ）將所得襯底放入顯影劑中進行顯影，使未被曝光的感光干膜脫掉；

步驟6：將步驟5所得的光刻后的襯底用銀氨法生長銀層，具體包括：

ⅰ）將硝酸銀溶于去離子水中，攪拌均勻，得濃度為0.02～0.03mol/L的硝酸銀溶液；

ⅱ）將硝酸銀溶液滴在步驟5所得的襯底上，析出銀層；

步驟7：將步驟6所得襯底放入分析純的丙酮中脫膜，除去感光干膜，得到圖形化的應變片；

步驟8：將步驟2所得打孔薄膜上表面的感光干膜的保護膜撕掉，貼敷聚酰亞胺薄膜；

步驟9：將步驟2所得打孔薄膜下表面的感光干膜的保護膜撕掉，貼敷從步驟7襯底上揭下的應變片，使打孔薄膜密閉形成空腔結構；

步驟10：將步驟9所得的空腔結構進行紫外曝光4～5分鐘，并在下表面依次貼上感光干膜和聚酰亞胺薄膜；

步驟11：將步驟10所得的空腔結構再次進行紫外曝光4～5分鐘，得到所述空腔式壓力傳感器。

2.根據權利要求1所述的空腔式壓力傳感器制備方法，其特征在于，所述襯底為玻璃片、聚四氟乙烯片、聚對苯二甲酸乙二醇酯片、陶瓷片或降解塑料片。

3.根據權利要求1所述的空腔式壓力傳感器制備方法，其特征在于，所述掩膜光刻采用UV法。

4.根據權利要求1所述的空腔式壓力傳感器制備方法，其特征在于，所述顯影劑為pH=12的氫氧化鈉溶液。

5.一種權利要求1所述方法制得的空腔式壓力傳感器。