[發(fā)明專利]一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910258889.6
• 申請(qǐng)日: 2019-04-02
• 公開（公告）號(hào): CN111769039B
• 公開（公告）日: 2023-07-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 南曉青;李冠稼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/265
• 分類號(hào): H01L21/265;H01J37/32
• 代理公司: 長(zhǎng)沙正奇專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 43113
• 代理人: 馬強(qiáng)

1.一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，包含線圈組的調(diào)節(jié)方法和磁極組的調(diào)節(jié)方法，其特征在于，結(jié)合大束流離子注入機(jī)臺(tái)線圈組、磁極組物理特性及設(shè)備硬件條件，針對(duì)線圈組和磁極組分別闡述了測(cè)試方法，測(cè)試過程中先調(diào)節(jié)線圈組后調(diào)節(jié)磁極組；

所述線圈組的調(diào)節(jié)方法包含以下步驟：

1)初始化線圈組和磁極組；

2)采集束流截面流強(qiáng)并求得流強(qiáng)均值J0；

3)單個(gè)線圈逐次通過相同電流I，建立電流變化和流強(qiáng)變化ΔJp關(guān)系；

4)結(jié)合線圈組調(diào)節(jié)限制，用計(jì)算機(jī)求解，得到一組電流調(diào)節(jié)解；

5)將各個(gè)線圈調(diào)節(jié)值輸入機(jī)臺(tái)；

6)判斷是否達(dá)到預(yù)期均勻性，若沒有則繼續(xù)重復(fù)線圈組調(diào)節(jié)的3)至5)，若達(dá)到則進(jìn)入磁極組的調(diào)節(jié)；

所述磁極組的調(diào)節(jié)方法包含以下步驟：

1)初始化磁極組；

2)采集束流截面流強(qiáng)并求得流強(qiáng)均值J1；

3)每個(gè)磁極按順序依次調(diào)節(jié)相同距離d，建立磁間距變化和流強(qiáng)變化ΔJr關(guān)系；

4)結(jié)合磁極組調(diào)節(jié)限制，用計(jì)算機(jī)求解，得到一組磁極調(diào)節(jié)解；

5)將磁極調(diào)節(jié)值輸入機(jī)臺(tái)；

6)判斷是否達(dá)到預(yù)期均勻性，若沒有則繼續(xù)重復(fù)磁極組調(diào)節(jié)的3)至5)，若達(dá)到則結(jié)束。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：所有采集的流強(qiáng)均以注入束流中心部位束流方向?yàn)榛鶞?zhǔn)，采集與注入方向垂直的束流截面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：所述線圈組的調(diào)節(jié)首先要初始化所有線圈和磁極是指線圈不通電、磁極置于初始位置，采集各采樣點(diǎn)與其相應(yīng)位置的流強(qiáng)并求出此時(shí)平均流強(qiáng)J0。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：所述單個(gè)線圈逐次通過相同電流的采集方法是指一個(gè)線圈通電流的時(shí)候其他線圈不通電流的采集一組數(shù)據(jù)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：磁極組調(diào)節(jié)時(shí)所述初始化磁極組是指要保持線圈組已經(jīng)按照求得的最優(yōu)解通電且磁極組置于初始位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：所述每個(gè)磁極按順序依次調(diào)節(jié)相同距離d的采集方法是第一個(gè)磁極調(diào)節(jié)距離d，其余位置保持不變采集一組數(shù)據(jù)；第二個(gè)磁極測(cè)試時(shí)保持第一個(gè)磁極調(diào)節(jié)d，第二個(gè)磁極移動(dòng)d，其余位置保持不變測(cè)試一組數(shù)據(jù)；第三個(gè)磁極測(cè)試時(shí)保持前兩個(gè)磁極調(diào)節(jié)d，第三個(gè)磁極移動(dòng)d時(shí)測(cè)試一組數(shù)據(jù)......以此類推。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：磁極組是成對(duì)出現(xiàn)的，每對(duì)磁極都包括一個(gè)上磁極和一個(gè)下磁極，不論上、下磁極組調(diào)節(jié)均勻性的方法一致。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：線圈組中可以通電線圈個(gè)數(shù)為7個(gè)或9個(gè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：可調(diào)節(jié)磁極對(duì)數(shù)為10對(duì)、12對(duì)或14對(duì)。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種低能大束流離子注入機(jī)均勻性調(diào)節(jié)的方法，其特征是：所述每個(gè)磁極按順序依次調(diào)節(jié)相同距離d的采集方法中，采集數(shù)據(jù)過程中，每對(duì)磁極需要保證一側(cè)磁極不動(dòng)，另一側(cè)磁極移動(dòng)d。