[發明專利]異物檢查裝置以及異物檢查方法

在審

• 申請號: 201910256072.5
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN110333255A
• 公開（公告）日: 2019-10-15
• 發明（設計）人: 加集功士
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: G01N23/18
• 分類號: G01N23/18;G01N23/04
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 李國華

1.一種異物檢查裝置，具備：

移動機構，使在電磁波的入射側與該電磁波的出射側之間具有厚度的檢查對象物在相對于該厚度的方向大致垂直的方向平行移動；

多個像素，構成利用透過上述檢查對象物的電磁波而生成的圖像，且被設置于TDI傳感器，上述檢查對象物通過上述移動機構而平行移動且包含異物；

存儲部，對分別與上述多個像素對應的第1像素值進行存儲；

像素值運算部，分別對應上述多個像素，對基于上述第1像素值而得到的第2像素值進行計算；和

像素值累計部，對屬于連續區域的像素群的各第2像素值進行累計。

2.一種異物檢查裝置，具備：

旋轉機構，使檢查對象物按照在從電磁波的入射側朝向該電磁波的出射側的方向延伸的軸來旋轉；

多個像素，構成利用透過上述檢查對象物的電磁波而生成的圖像，且被設置于TDI傳感器，上述檢查對象物通過上述旋轉機構而旋轉并包含異物；

存儲部，對分別與上述多個像素對應的第1像素值進行存儲；

像素值運算部，分別對應上述多個像素，對基于上述第1像素值而得到的第2像素值進行計算；和

像素值累計部，對屬于連續區域的像素群的各第2像素值進行累計。

3.根據權利要求1或2所述的異物檢查裝置，其中，

上述異物含有相比于上述檢查對象物使上述透過的電磁波更大地衰減的材質。

4.根據權利要求1～3的任意一項所述的異物檢查裝置，其中，

上述像素值累計部將上述多個像素分別設為關注像素，對屬于包含該關注像素的上述連續區域的像素群的上述各第2像素值進行累計，從而設為該關注像素的累計值。

5.根據權利要求1～4的任意一項所述的異物檢查裝置，其中，

上述連續區域是比包含上述圖像中的異物的模糊所對應的全部像素的區域大的區域。

6.根據權利要求1～5的任意一項所述的異物檢查裝置，其中，

上述像素值累計部根據假定設為檢測對象的上述異物的形狀，分別對上述各第2像素值進行加權并得到累計值。

7.一種異物檢查方法，包含：

移動工序，使在電磁波的入射側與該電磁波的出射側之間具有厚度的檢查對象物在相對于該厚度的方向大致垂直的方向平行移動；

由設置于TDI傳感器的多個像素構成利用透過上述檢查對象物的電磁波而生成的圖像的工序，上述檢查對象物在上述移動工序中被平行移動并包含異物；

存儲工序，對分別與上述多個像素對應的第1像素值進行存儲；

像素值運算工序，分別對應上述多個像素，對基于上述第1像素值而得到的第2像素值進行計算；和

像素值累計工序，對屬于連續區域的像素群的各第2像素值進行累計。

8.一種異物檢查方法，包含：

旋轉工序，使檢查對象物按照在從電磁波的入射側朝向該電磁波的出射側的方向延伸的軸來旋轉；

由設置于TDI傳感器的多個像素構成利用透過上述檢查對象物的電磁波而生成的圖像的工序，上述檢查對象物在上述旋轉工序中被旋轉并包含異物；

存儲工序，對分別與上述多個像素對應的第1像素值進行存儲；

像素值運算工序，分別對應上述多個像素，對基于上述第1像素值而得到的第2像素值進行計算；和

像素值累計工序，對屬于連續區域的像素群的各第2像素值進行累計。