[發明專利]一種直拉硅芯原料棒的熔接工藝

在審

• 申請號: 201910252531.2
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN109837584A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 羅曉斌;楊旭彪;辛玉龍;董皓
• 申請（專利權）人: 山西潞安太陽能科技有限責任公司
• 主分類號: C30B15/20
• 分類號: C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101
• 代理人: 李富元

1.一種直拉硅芯原料棒的熔接工藝，其特征在于：當發現存在單晶硅芯棒斷棱、多晶硅芯棒提斷、晶棒直徑突變三種中任意一種情況時，進入回熔階段，在回熔階段中，采用功率控制，并且采用手動控制，當發生單晶硅芯棒斷棱時，將功率增加至等徑功率+35kw，回熔長度在硅芯棒直徑+20mm以上，當發生多晶硅芯棒提斷時，將功率增加至等徑功率+35kw，回熔長度大于80mm，當發生晶棒直徑突變時，將功率增加至等徑功率+35kw，回熔長度是將直徑異常部分回熔完并且整體回熔長度大于等于80mm；回熔完畢后進入穩溫階段，在穩溫階段直拉單晶爐由功率控制切換為溫度控制，設定溫度為等徑溫度+20℃，穩溫2個小時，確保熔液內及熔液表面形成相對穩定的熱對流環境，利于拉晶；穩溫階段結束后進入接棒階段，把硅棒浸入硅液，開始接棒，前期為0.2-0.7mm/min低拉速生長，根據固液面光圈情況及時調節晶升、堝升及溫度參數，等長晶長度大于50mm、晶體生長情況趨于穩定后由手動狀態切換為自動等徑狀態。