[發(fā)明專利]芯片封裝結構及其封裝方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910251627.7 | 申請日: | 2019-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN109994438B | 公開(公告)日: | 2021-04-02 |
| 發(fā)明(設計)人: | 席克瑞;秦鋒;劉金娥;李小和;崔婷婷;丁淵 | 申請(專利權)人: | 上海中航光電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/31 | 分類號: | H01L23/31;H01L21/56;H01L21/683;H01L23/482;H01L21/60;H01L23/29;H01L25/16 |
| 代理公司: | 北京晟睿智杰知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼 |
| 地址: | 201100 *** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 芯片 封裝 結構 及其 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種芯片封裝結構及其封裝方法,包括:包封層、重布線層、焊盤組以及多個裸芯片;裸芯片的一側設置有多個連接柱;包封層覆蓋裸芯片和連接柱,且暴露出連接柱遠離裸芯片一側的表面;重布線層位于連接柱遠離裸芯片的一側,且重布線層包括第一重布線路、第二重布線路和第三重布線路;第一重布線路、第二重布線路分別和至少一個連接柱電連接,剩余的連接柱和第三重布線路電連接;焊盤組位于重布線層遠離包封層的一側,且焊盤組包括輸入焊盤和輸出焊盤。相對于現(xiàn)有技術,封裝結構更加簡單,由于省去了植球步驟,使得封裝結構的制作和使用也更加方便。
技術領域
本發(fā)明涉及封裝技術領域,更具體地,涉及一種芯片封裝結構及其封裝方法。
背景技術
隨著集成電路技術的不斷發(fā)展,電子產(chǎn)品越來越趨向于小型化、智能化以及高可靠性方向發(fā)展,這對電子產(chǎn)品中線路的集成度要求也越來越高。為此,目前的做法主要是將各種工藝制作的芯片集中裝配在PCB板(Printed circuit board,印刷線路板)上,芯片之間的信號則通過PCB板上印制的線路進行互通。但存在以下問題:
一方面,在進行芯片的裝配時,通常需要對封裝好的芯片結構進行植球,然后再焊接到PCB板上,成本高,裝配工藝復雜,而且需要對每個植球分別進行焊接操作,工作量大,同時也難以確保每個植球與PCB板之間連接的可靠性,使得電子產(chǎn)品的良率較低;
另一方面,用于芯片之間信號互通的線路占用了PCB板上較大的空間,不利于電子產(chǎn)品的進一步小型化,并且在線路數(shù)量較多的情況下,部分線路長度較大,使得電子產(chǎn)品的能耗較高。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此,本發(fā)明提供了一種芯片封裝結構及其封裝方法,以解決現(xiàn)有技術中存在的技術問題。
本發(fā)明提供了一種芯片封裝結構,包括:包封層、重布線層、焊盤組以及多個裸芯片;裸芯片的一側設置有多個連接柱;包封層覆蓋裸芯片和連接柱,且暴露出連接柱遠離裸芯片一側的表面;重布線層位于連接柱遠離裸芯片的一側,且重布線層包括第一重布線路、第二重布線路和第三重布線路;第一重布線路、第二重布線路分別和至少一個連接柱電連接,剩余的連接柱和第三重布線路電連接;焊盤組位于重布線層遠離包封層的一側,且焊盤組包括輸入焊盤和輸出焊盤;輸入焊盤和第一重布線路電連接,輸出焊盤和第二重布線路電連接;或者,輸入焊盤和第二重布線路電連接,輸出焊盤和第一重布線路電連接。
本發(fā)明提供了一種芯片封裝結構的封裝方法,包括:提供一襯底基板;提供多個裸芯片,并將裸芯片貼附在襯底基板上;裸芯片的一側設置有多個連接柱;形成包封層,包封層覆蓋裸芯片和連接柱;對包封層進行研磨,暴露出連接柱遠離裸芯片一側的表面;在連接柱遠離裸芯片的一側形成重布線層,重布線層包括第一重布線路、第二重布線路和第三重布線路;其中,第一重布線路、第二重布線路分別和至少一個連接柱電連接,剩余的連接柱和第三重布線電連接;在重布線層遠離包封層的一側形成焊盤組,焊盤組包括輸入焊盤和輸出焊盤;其中,輸入焊盤和第一重布線路電連接,輸出焊盤和第二重布線路電連接;或者,輸入焊盤和第二重布線路電連接,輸出焊盤和第一重布線路電連接;將襯底基板剝離。
此外,本發(fā)明還提供了另一種芯片封裝結構的封裝方法,包括:提供一襯底基板;在襯底基板上形成焊盤組,焊盤組包括輸入焊盤和輸出焊盤;在焊盤組遠離玻璃基板的一側形成重布線層,重布線層包括第一重布線路、第二重布線路和第三重布線路;其中,第一重布線路和輸入焊盤電連接,第二重布線路和輸出焊盤電連接;或者,第二重布線路和輸入焊盤電連接,第一重布線路和輸出焊盤電連接;提供多個裸芯片,裸芯片的一側設置有多個連接柱;其中,第一重布線路、第二重布線路分別和至少一個連接柱電連接,剩余的連接柱和第三重布線電連接;形成包封層,包封層覆蓋裸芯片和連接柱;將襯底基板剝離,暴露出焊盤組的表面。
與現(xiàn)有技術相比,本發(fā)明提供的芯片封裝結構及其封裝方法,至少實現(xiàn)了如下的有益效果:
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