[發(fā)明專利]加熱器及具有其的單晶爐在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910249604.2 | 申請(qǐng)日： | 2019-03-29 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN109837593A | 公開（公告）日： | 2019-06-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳翼;張楠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 徐州晶睿半導(dǎo)體裝備科技有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B35/00 | 分類號(hào)： | C30B35/00;C30B29/06;F27D11/02 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 趙天月 |
| 地址： | 221004 江蘇省*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 加熱器組件 加熱器 狹縫 兩層 層疊設(shè)置 尺寸可調(diào) 端部延伸 單晶爐 上端部 下端部 加熱器電阻 加熱器功率 高度變化 靈活調(diào)整 內(nèi)加熱器 溫度梯度 電極腳 可拆卸 并聯(lián) 減小 熱場(chǎng) 緊湊 | ||
1.一種加熱器，其特征在于，包括：
至少兩層加熱器組件，每層所述加熱器組件均具有相對(duì)的上端部和下端部，至少一層所述加熱器組件上形成自所述上端部向所述下端部延伸的第一狹縫以及自所述下端部向所述上端部延伸的第二狹縫，上下相鄰的兩層所述加熱器組件層疊設(shè)置，所述第一狹縫和/或所述第二狹縫的尺寸可調(diào)；
電極腳，所述電極腳可拆卸地設(shè)置所述加熱器的底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于，至少一層所述加熱器組件上設(shè)有多個(gè)間隔設(shè)置的所述第一狹縫和多個(gè)間隔設(shè)置的所述第二狹縫。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱器，其特征在于，至少一層所述加熱器組件為高電阻率材料，至少一層所述高電阻率材料的加熱器組件上的至少一部分所述第一狹縫和所述第二狹縫相對(duì)設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加熱器，其特征在于，所述高電阻率材料為碳-碳材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求2-4中任一項(xiàng)所述的加熱器，其特征在于，至少一層所述加熱器組件為低電阻率材料，至少一層所述低電阻率材料的加熱器組件上的至少一部分所述第一狹縫和所述第二狹縫交錯(cuò)分布，并且在所述加熱器組件展開的長(zhǎng)度方向上的投影，所述第一狹縫與所述第二狹縫之間具有重疊區(qū)域。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的加熱器，其特征在于，所述低電阻率材料為石墨材料和/或金屬材料。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的加熱器，其特征在于，至少一部分上下相鄰的兩層所述加熱器組件中，位于上層的所述加熱器組件的第二狹縫與位于下層的所述加熱器組件的第一狹縫上下正對(duì)并連通。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述第一狹縫和所述第二狹縫的高度分別獨(dú)立地為40～490mm，寬度分別獨(dú)立地為10～150mm。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加熱器，其特征在于，每層所述加熱器組件上相鄰兩個(gè)所述第一狹縫的距離為30～300mm，
每層所述加熱器組件上相鄰兩個(gè)所述第二狹縫的距離為30～300mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于，每層所述加熱器組件的高度為40～500毫米。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述至少兩層加熱器組件為一體化成型。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于，至少一部分所述上下相鄰的兩層加熱器組件之間可拆卸連接。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述電極腳在所述加熱器底部對(duì)稱布置。
14.根據(jù)權(quán)利要求1或13所述的加熱器，其特征在于，包括兩個(gè)所述電極腳。
15.一種單晶爐，其特征在于，所述單晶爐上具有權(quán)利要求1-14中任一項(xiàng)所述加熱器。
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