[發明專利]切割液過濾循環裝置

在審

• 申請號: 201910249271.3
• 申請日: 2019-03-29
• 公開（公告）號: CN109834861A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 陳留;周炎;黃振華
• 申請（專利權）人: 江蘇美科硅能源有限公司
• 主分類號: B28D7/00
• 分類號: B28D7/00;B28D5/04
• 代理公司: 南京利豐知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32256
• 代理人: 任立

本發明是一種切割液過濾循環裝置，包括切割液缸、切割池和過濾裝置，所述切割液缸為密封筒狀結構，在所述切割液缸上設置有進液口，在所述切割液缸內設置有進液泵，并且通過其一側的出液管道連接切割池進液口，所述過濾裝置包括廢水收集池、壓濾機和膜清液收集池，所述廢水收集池進液口與切割池出液口通過廢水管道連接，并且在所述切割池的出液口處設置有排水閥，所述廢水收集池出液口與所述壓濾機進液口通過過濾管道相連接，所述壓濾機出液口與膜清液收集池進液口通過進液管道相連接，所述膜清液收集池出液口通過進液管道連接切割液缸；本發明能夠對切割液循環利用，并且同時也能減少切割過程中的硅粉含量。

技術領域

本發明涉及硅片切割領域，具體是一種切割液過濾循環裝置。

背景技術

現有的金鋼線硅片切割使用的閉環切割，整個切割系統中在切割過程中，切割液中就會含有硅粉和大顆粒雜質，且含量會越來越高，會大大影響硅片的切割質量，一般都是通過換切割液解決，不僅大大增加了生產成本，同時也加劇了環境污染。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，克服現有技術的缺點，提供一種切割液過濾循環裝置，其結構簡單、能夠對切割液循環利用，并且同時也能減少切割過程中的硅粉含量。

本發明解決以上技術問題的技術方案是：提供切割液過濾循環裝置，包括切割液缸、切割池和過濾裝置，所述切割液缸為密封筒狀結構，在所述切割液缸上設置有進液口，在所述切割液缸內設置有進液泵，并且通過其一側的出液管道連接切割池進液口，所述過濾裝置包括廢水收集池、壓濾機和膜清液收集池，所述廢水收集池進液口與切割池出液口通過廢水管道連接，并且在所述切割池的出液口處設置有排水閥，所述廢水收集池出液口與所述壓濾機進液口通過過濾管道相連接，所述壓濾機出液口與膜清液收集池進液口通過進液管道相連接，所述膜清液收集池出液口通過進液管道連接切割液缸。

本發明的進一步限定技術方案：

前述的在切割液缸上設有液位計，便于觀察切割液的用量，及時補充。

前述的在出液管道上設有流量控制閥。

前述的在切割池一側設置有溢流口，并且該溢流口上設置有溢流管道，該溢流管道與廢水管道相連接。

前述的在溢流管道上設置有排壓閥，排出管道內存在的壓力。

前述的膜清液收集池內設有有兩層陶瓷膜，過濾金屬離子和微生物同時保留溶液中切割有機物有效切割成分。

本發明的有益效果是：本發明結構簡單，硅片線切割機在切割硅片時，通過進液泵將所需切割液一次性送至切割池中，用于硅片的切割，同時在切割過程中，通過流量控制閥向切割池內輸送切割液，不斷置換含有硅粉和沉淀物雜質的切割液，保證硅片切割過程切割質量，在切割池一側設置溢流口，超出了設置液位，就會將含有硅粉和沉淀物雜質排出至廢水收集池中，在切割池的出液口處設置有排水閥，能夠將整個硅片切割完后一次性將廢液排出至廢水收集池內；廢水收集池中廢液至壓濾機，通過壓濾機內的壓濾布過濾切割過程中產生的硅粉和大顆粒雜質，在通過膜清液收集池內設有兩層陶瓷膜，過濾金屬離子，微生物，同時也不會過濾水溶液中切割有機物有效切割成分，然后將過濾后的切割液重新輸送到切割液缸內，循壞利用，大大提高了經濟效益，同時也保證了硅片的切割質量。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

具體實施方式

實施例1