[發明專利]一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置

有效

• 申請號: 201910245327.8
• 申請日: 2019-03-28
• 公開（公告）號: CN109870107B
• 公開（公告）日: 2021-01-01
• 發明（設計）人: 陳志龍
• 申請（專利權）人: 北京同創微納科技有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 濟南圣達知識產權代理有限公司 37221
• 代理人: 張慶騫

1.一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，包括：

位移平臺，所述位移平臺包括動平臺和靜平臺，動平臺與壓電器件相連；壓電器件用于將控制電壓轉化為驅動力以驅動動平臺運動；

動平臺上安裝有第一反射鏡，靜平臺上安裝有第二反射鏡；動平臺運動使得激光干涉儀發射的激光經第一反射鏡和第二反射鏡的反射后產生變化的干涉條紋；位移平臺上設置有單極電容傳感器、光柵位移傳感器和雙極電容傳感器中的至少一者，激光干涉儀、單極電容傳感器、光柵位移傳感器和雙極電容傳感器均可獲得動平臺位移變化數據，進而實現單極電容傳感器、光柵位移傳感器和雙極電容傳感器中的至少一者與激光干涉儀相互標定；

其中，單極電容傳感器可設置于靜平臺上；光柵位移傳感器由標尺光柵和光柵讀數頭構成，標尺光柵可固定于動平臺上，光柵讀數頭可固定于靜平臺上；雙極電容傳感器由第一極板和第二極板構成，第一極板可設置于直進式微分頭尾部，直進式微分頭固定于靜平臺上，第二極板可設置于與直進式微分頭的尾部相對的動平臺上。

2.如權利要求1所述的一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，動平臺上安裝有動平臺鏡架，第一反射鏡安裝在動平臺鏡架上；靜平臺上安裝有靜平臺鏡架，第二反射鏡安裝在靜平臺鏡架上。

3.如權利要求2所述的一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，單極電容傳感器可設置于靜平臺鏡架上，單極電容傳感器與動平臺表面之間留設有間隙。

4.如權利要求1所述的一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，直進式微分頭固定于微分頭支座上，微分頭支座固定于靜平臺上。

5.如權利要求4所述的一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，微分頭支座上設置有第一定位凸臺，以保證微分頭支座與動平臺鏡架之間的平行度。

6.如權利要求2所述的一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，動平臺鏡架上設置有第二定位凸臺，以保證動平臺鏡架和靜平臺鏡架之間的平行度。

7.如權利要求1所述的一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，所述位移平臺和激光干涉儀設置于氣浮平臺上；氣浮平臺上固定有激光干涉儀支架，激光干涉儀固定在激光干涉儀支架上。

8.如權利要求2所述的一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，靜平臺鏡架上設置有單極電容傳感器預留孔，單極電容傳感器可插入單極電容傳感器預留孔中。

9.一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，包括：

位移平臺和激光干涉儀，所述位移平臺包括動平臺和靜平臺，動平臺與壓電器件相連；壓電器件用于將控制電壓轉化為驅動力以驅動動平臺運動；

位移平臺上設置有單極電容傳感器、光柵位移傳感器和雙極電容傳感器中的至少兩者，單極電容傳感器、光柵位移傳感器和雙極電容傳感器均可獲得動平臺位移變化數據，進而實現單極電容傳感器、光柵位移傳感器和雙極電容傳感器中至少兩者之間相互標定；

其中，單極電容傳感器可設置于靜平臺上；光柵位移傳感器由標尺光柵和光柵讀數頭構成，標尺光柵可固定于動平臺上，光柵讀數頭可固定于靜平臺上；雙極電容傳感器由第一極板和第二極板構成，第一極板可設置于直進式微分頭尾部，直進式微分頭固定于靜平臺上，第二極板可設置于與直進式微分頭的尾部相對的動平臺上。

10.如權利要求9所述的一種用于多種納米位移傳感器間相互標定的裝置，其特征在于，直進式微分頭固定于微分頭支座上，微分頭支座固定于靜平臺上。