[發(fā)明專利]一種OGS觸摸屏的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910243658.8 | 申請(qǐng)日: | 2019-03-28 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN109913806A | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-06-21 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 曾一鑫;張佳衲 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 信元光電有限公司 |
| 主分類號(hào): | C23C14/04 | 分類號(hào): | C23C14/04;C23C14/35;C23C14/58;G06F3/041 |
| 代理公司: | 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102 | 代理人: | 許青華;廖苑濱 |
| 地址: | 516600 廣東*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 透明導(dǎo)電膜 鍍膜 圖案化 鉬鋁鉬膜 觸摸屏 制程 透明基板 制作 復(fù)合膜 鍍制 消影 制備 依次層疊 油墨層 | ||
1.一種OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,其包括如下步驟:
S1.在透明基板上形成圖案化的油墨層;
S2.鍍制復(fù)合膜,所述復(fù)合膜包括依次層疊于所述透明基板上的消影膜、第一透明導(dǎo)電膜和鉬鋁鉬膜;
S3.對(duì)所述鉬鋁鉬膜進(jìn)行圖案化;
S4.對(duì)所述第一透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化;
S5.制作第一OC層;
S6.鍍制第二透明導(dǎo)電膜;
S7.對(duì)所述第二透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化;
S8.制作第二OC層。
2.如權(quán)利要求1所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,所述透明基板為玻璃基板。
3.如權(quán)利要求1所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,所述第一透明導(dǎo)電膜和第二透明導(dǎo)電膜的材料均為ITO。
4.如權(quán)利要求1所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,所述透明基板包括視窗區(qū)和非視窗區(qū),所述油墨層層疊于透明基板的非視窗區(qū);所述第一透明導(dǎo)電膜覆蓋整個(gè)視窗區(qū)和非視窗區(qū);所述第二透明導(dǎo)電膜覆蓋整個(gè)視窗區(qū)和非視窗區(qū);所述第二透明導(dǎo)電膜完全覆蓋所述鉬鋁鉬膜。
5.如權(quán)利要求1所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,采用黃光工藝形成圖案化的油墨層。
6.如權(quán)利要求1所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,對(duì)所述鉬鋁鉬膜進(jìn)行圖案化的方法為:將鉬鋁鉬膜依次經(jīng)過(guò)涂膠、曝光、顯影、和蝕刻,其中蝕刻中采用的蝕刻液為鋁蝕刻液。
7.如權(quán)利要求3所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,對(duì)所述第一透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化的方法為:在鉬鋁鉬膜和第一透明導(dǎo)電膜上涂布正性感光膠,將第一透明導(dǎo)電膜依次經(jīng)過(guò)涂膠、曝光、顯影、和蝕刻,其中蝕刻中采用的蝕刻液為ITO蝕刻液。
8.如權(quán)利要求3所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,對(duì)所述第二透明導(dǎo)電膜進(jìn)行圖案化的方法為:在鉬鋁鉬膜和第二透明導(dǎo)電膜上涂布正性感光膠,將第二透明導(dǎo)電膜依次經(jīng)過(guò)涂膠、曝光、顯影、和蝕刻,其中蝕刻中采用的蝕刻液為ITO蝕刻液。
9.如權(quán)利要求1所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,所述消影膜為單層或多層結(jié)構(gòu),采用氮氧化硅材料、氧化硅材料、氮化硅材料、氧化鈮材料中的至少一種形成。
10.如權(quán)利要求1所述的OGS觸摸屏的制備方法,其特征在于,所述復(fù)合膜和第二透明導(dǎo)電膜均是在真空鍍膜設(shè)備中采用磁控濺射方式進(jìn)行鍍制成形。
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C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面擴(kuò)散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





