[發(fā)明專利]OLED顯示面板及其制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910242542.2 | 申請日: | 2019-03-28 |
| 公開(公告)號: | CN109979977A | 公開(公告)日: | 2019-07-05 |
| 發(fā)明(設計)人: | 李朝 | 申請(專利權(quán))人: | 武漢華星光電半導體顯示技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L51/56;H01L51/00 |
| 代理公司: | 深圳翼盛智成知識產(chǎn)權(quán)事務所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黃威 |
| 地址: | 430079 湖北省武漢市東湖新技術(shù)*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 玻璃基板 柔性層 氮化硅層 浸潤層 制備 薄膜封裝層 薄膜晶體管 膜厚均勻性 產(chǎn)品良率 親疏水性 親水性 驅(qū)動層 疏水性 有效流 | ||
本發(fā)明提供一種OLED顯示面板及制備方法。所述OLED顯示面板包括:雙層PI柔性層,所述雙層PI柔性層包括:玻璃基板、浸潤層、PI柔性層、無機氮化硅層;薄膜晶體管驅(qū)動層;OLED發(fā)光層;薄膜封裝層;所述浸潤層將所述玻璃基板或所述無機氮化硅層由親水性轉(zhuǎn)變?yōu)槭杷裕挥捎谟H疏水性相同,PI液可以在玻璃基板和無機SiNx層上有效流平,提高PI薄膜的膜厚均勻性,從而提高OLED顯示面板的產(chǎn)品良率并降低彎曲時脫落的風險。
技術(shù)領域
本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領域,尤其涉及一種OLED顯示面板及其制備方法。
背景技術(shù)
近年來,有機發(fā)光二極管(Organic Light-Emitting Diode,簡稱:OLED)顯示技術(shù)發(fā)展突飛猛進,OLED產(chǎn)品由于具有輕薄、響應快、廣視角、高對比度、柔性等優(yōu)點,受到了越來越多的關(guān)注和應用,主要應用在手機、平板、電視等顯示領域。
OLED因其在固態(tài)照明和平板顯示的方向擁有巨大的發(fā)展?jié)摿Χ玫搅藢W術(shù)界和產(chǎn)業(yè)界的極大關(guān)注。有機發(fā)光二極管(OLED)平板可以做的更輕更薄,因而柔性顯示技術(shù)將是未來的發(fā)展趨勢。常用的基板襯底多為聚酰亞胺(Polyimide,簡稱:PI)等柔性襯底,薄膜晶體管在柔性襯底上通過信號的控制,實現(xiàn)對有機發(fā)光二極管(OLED)器件的發(fā)光調(diào)控。
柔性OLED顯示面板裝置由下到上包括聚酰亞胺柔性層、薄膜晶體管驅(qū)動層、OLED發(fā)光層、薄膜封裝層等。OLED的發(fā)光原理是在兩個電極之間沉積OLED發(fā)光層,對OLED發(fā)光層通以電流,通過載流子注入和復合而導致發(fā)光。在柔性OLED顯示技術(shù)中,通常采用PI取代傳統(tǒng)的玻璃基底,以實現(xiàn)折疊和柔性顯示。為了實現(xiàn)更好的彎折及水氧阻隔性能,通常采用雙層PI代替單層PI,即PI-SiNx-PI結(jié)構(gòu)。PI基板業(yè)界制備方法大多為涂布法,即在玻璃基板襯底上涂布一定厚度的PI液,溶劑揮發(fā)后便形成PI堅膜;由于PI溶液與玻璃基板及無機SiNx的親疏水性剛好相反,PI溶液難以在玻璃基板及SiNx上鋪展開,尤其是邊緣區(qū)域容易形成島狀積液,從而造成PI基板膜厚不均,即邊緣區(qū)域PI膜厚偏厚,影響OLED顯示面板的產(chǎn)品良率,且在彎曲時有脫落的風險。
綜上所述,現(xiàn)有技術(shù)的OLED顯示面板,PI溶液與玻璃基板和無機SiNx的親疏水性相反,導致柔性OLED顯示面板構(gòu)的PI薄膜的厚度不均勻,在彎曲時容易斷裂、脫落。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種OLED顯示面板及其制備方法,可提高該OLED顯示面板構(gòu)的PI薄膜的厚度均勻性,以及提高柔性OLED顯示面板的產(chǎn)品良率和可性耐性。
為解決上述問題,本發(fā)明提供的技術(shù)方案如下:
一種OLED顯示面板,所述OLED顯示面板包括:
雙層聚酰亞胺柔性層,所述雙層聚酰亞胺柔性層包括:依次設置的第一聚酰亞胺柔性層、無機氮化硅層和第二聚酰亞胺柔性層,所述雙層聚酰亞胺柔性層還包含第一浸潤層以及第二浸潤層;
薄膜晶體管驅(qū)動層,設置在所述雙層聚酰亞胺柔性層上;
OLED發(fā)光層,設置在所述薄膜晶體管驅(qū)動層上;以及
薄膜封裝層,設置在所述OLED發(fā)光層上。
根據(jù)本發(fā)明實施例所提供的OLED顯示面板,所述第一浸潤層設置于所述第一聚酰亞胺柔性層上。
根據(jù)本發(fā)明實施例所提供的OLED顯示面板,所述第二浸潤層設置于所述無機氮化硅層和所述第二聚酰亞胺柔性層之間。
根據(jù)本發(fā)明實施例所提供的OLED顯示面板,所述第一浸潤層、所述第一聚酰亞胺柔性層、所述無機氮化硅層、所述第二浸潤層和所述第二聚酰亞胺柔性層由下自上依次設置。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的多個半導體或其他固態(tài)組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發(fā)射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結(jié)點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





