[發明專利]攝像面板在審
| 申請號: | 201910240019.6 | 申請日: | 2019-03-27 |
| 公開(公告)號: | CN110323235A | 公開(公告)日: | 2019-10-11 |
| 發明(設計)人: | 森脅弘幸 | 申請(專利權)人: | 夏普株式會社 |
| 主分類號: | H01L27/146 | 分類號: | H01L27/146 |
| 代理公司: | 北京市隆安律師事務所 11323 | 代理人: | 權鮮枝;劉寧軍 |
| 地址: | 日本*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 閃爍器 源矩陣基板 平坦化膜 攝像面板 像素區域 防濕材料 無機膜 俯視 感光性樹脂膜 光電轉換元件 被粘接層 精度降低 外側設置 整個區域 制造成本 閃爍光 粘接層 像素 粘接 覆蓋 侵入 檢測 | ||
1.一種攝像面板,其特征在于,具備:
有源矩陣基板,其具有包含多個像素的像素區域,在上述多個像素的每一個像素中具備光電轉換元件;
閃爍器,其設置于上述有源矩陣基板的表面,將X射線轉換為閃爍光;
防濕材料,其覆蓋上述閃爍器的整體;以及
粘接層,其將上述防濕材料與上述閃爍器及上述有源矩陣基板的表面之間粘接,
上述有源矩陣基板具備:
第1平坦化膜,其設置于上述像素區域和上述像素區域的外側,包括感光性樹脂膜;以及
第1無機膜,其至少在上述像素區域的外側設置于上述第1平坦化膜與上述閃爍器之間,俯視時與設置有上述閃爍器的整個區域重疊,并且與上述第1平坦化膜接觸,
在上述第1無機膜上,俯視時與上述閃爍器重疊的區域的外側的至少一部分區域被上述粘接層覆蓋。
2.根據權利要求1所述的攝像面板,
上述第1無機膜中的與上述第1平坦化膜相反的一側的面與上述閃爍器接觸。
3.根據權利要求1所述的攝像面板,
上述有源矩陣基板
具備有機膜,上述有機膜接觸上述第1無機膜中的與上述第1平坦化膜相反的一側的面,并且與上述閃爍器接觸,
上述有機膜的端部被上述粘接層覆蓋。
4.根據權利要求1至3中的任意一項所述的攝像面板,
上述有源矩陣基板
在上述像素區域和上述像素區域的外側還具備第2無機膜,上述第2無機膜設置于上述第1平坦化膜中的與上述第1無機膜相反的一側的面,
上述第2無機膜從上述像素區域連續設置到上述像素區域的外側為止。
5.根據權利要求4所述的攝像面板,
上述有源矩陣基板
在上述像素區域和上述像素區域的外側還具備第2平坦化膜,上述第2平坦化膜相對于上述第2無機膜設置于與上述第1平坦化膜相反的一側,包括感光性樹脂膜,
上述第2平坦化膜覆蓋上述像素區域中的各像素的光電轉換元件。
6.根據權利要求5所述的攝像面板,
上述有源矩陣基板還具備:
配線,其設置于上述多個像素的每一個像素;以及
金屬膜,其在上述像素區域的外側設置于上述第2無機膜與上述第2平坦化膜之間,
上述金屬膜經由接觸孔與上述配線連接。
7.根據權利要求6所述的攝像面板,
上述配線在上述像素區域中設置于上述第2無機膜與上述第2平坦化膜之間,與各像素的上述光電轉換元件連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





