[發明專利]移載裝置及移載方法

有效

• 申請號: 201910239378.X
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN109809188B
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 胡小瑞
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G47/91;B65G43/08
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;張洋

本發明提供一種移載裝置及移載方法。該移載裝置包括支撐平臺以及設于所述支撐平臺上方的移載單元；所述移載單元包括設于所述支撐平臺上方的吸附平臺以及分別與所述吸附平臺連接的移動平臺和至少一條氣體管路，所述吸附平臺中設有多個氣孔，所述支撐平臺用于承載顯示面板，所述氣體管路用于對氣孔抽真空以吸附顯示面板，所述移動平臺用于移動吸附平臺以搬運顯示面板，可以防止在顯示面板的搬運過程中對顯示面板造成吸附形變，從而提升產品良率。

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種移載裝置及移載方法。

背景技術

有機發光二極管顯示裝置(Organic Light Emitting Display，OLED)具有自發光、驅動電壓低、發光效率高、響應時間短、清晰度與對比度高、近180°視角、使用溫度范圍寬，可實現柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優點，被業界公認為是最有發展潛力的顯示裝置。

OLED按照驅動方式可以分為無源矩陣型OLED(Passive Matrix OLED，PMOLED)和有源矩陣型OLED(Active Matrix OLED，AMOLED)兩大類，即直接尋址和薄膜晶體管矩陣尋址兩類。其中，AMOLED具有呈陣列式排布的像素，屬于主動顯示類型，發光效能高，通常用作高清晰度的大尺寸顯示裝置。

OLED器件通常包括：基板、設于基板上的陽極、設于陽極上的空穴注入層、設于空穴注入層上的空穴傳輸層、設于空穴傳輸層上的發光層、設于發光層上的電子傳輸層、設于電子傳輸層上的電子注入層、及設于電子注入層上的陰極。OLED器件的發光原理為半導體材料和有機發光材料在電場驅動下，通過載流子注入和復合導致發光。具體的，OLED器件通常采用氧化銦錫(ITO)電極和金屬電極分別作為器件的陽極和陰極，在一定電壓驅動下，電子和空穴分別從陰極和陽極注入到電子傳輸層和空穴傳輸層，電子和空穴分別經過電子傳輸層和空穴傳輸層遷移到發光層，并在發光層中相遇，形成激子并使發光分子激發，后者經過輻射弛豫而發出可見光。

然而因為技術不成熟，導致OLED產品的良率低，成本較高，而生產過程中制程條件與OLED良率的相關性很大，然而，除制程條件影響OLED良率外，設備機構對良率亦有一定影響。現有技術中的移載裝置如附圖1所示，采用多個吸嘴100吸附OLED面板200并將OLED面板200搬運至指定位置，如圖2所示，在多個吸嘴100吸附過程中，容易在OLED面板200受力位置產生真空壓量過大而造成OLED面板200壓傷，如圖3所示，在OLED面板200放置時由于多個吸嘴100高度不完全統一造成OLED面板200下料時邊緣造成破裂(Crack)。如果該移載裝置位于設備出料段，則這種異常產品很難及時發現，當異常產品流至下一檢測站點被檢出時，伴隨產生的是一個產品異常批次，從而極大地降低了產品良率，增加了生產成本。

發明內容

本發明的目的在于提供一種移載裝置，可以防止在顯示面板的搬運過程中對顯示面板造成吸附形變。

本發明的目的在于還提供一種移載方法，可以防止在顯示面板的搬運過程中對顯示面板造成吸附形變。

為實現上述目的，本發明提供了一種移載裝置，包括：支撐平臺以及設于所述支撐平臺上方的移載單元；

所述移載單元包括設于所述支撐平臺上方的吸附平臺以及分別與所述吸附平臺連接的移動平臺和至少一條氣體管路；所述吸附平臺中設有多個氣孔；

所述支撐平臺用于承載顯示面板；

所述氣體管路用于對氣孔抽真空以吸附顯示面板；

所述移動平臺用于移動吸附平臺以搬運顯示面板。

所述吸附平臺的材料為多孔陶瓷。

所述氣孔的直徑大于1um且小于100um。

所述移載單元還包括與氣體管路連接的壓差計；所述壓差計用于偵測吸附平臺與顯示面板之間的壓差。