[發明專利]一種超純水處理工藝

在審

• 申請號: 201910238925.2
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN109879500A
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 陳文元;龍津達;倪海波
• 申請（專利權）人: 兆德（南通）電子科技有限公司
• 主分類號: C02F9/08
• 分類號: C02F9/08;C02F103/04;C02F101/12
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 夏平

本發明提供一種超純水處理工藝，屬于水處理技術領域，該一種超純水處理工藝具體包括以下步驟：原水水源的連接；自來水的預處理；EDI用水進水處理：第一超純水的凈化處理；第二超純水的混床處理：二級紫外線殺菌：第三超純水的拋光混床處理；終端超濾處理；超純水的存儲輸送。本發明的一種超純水處理工藝對現有超純水處理工藝進行了改良，減小了酸堿的耗費量，避免經常進行離子再生的問題和減小對環境的破壞，達到環保的目的。

技術領域

本發明屬于水處理技術領域，尤其涉及一種超純水處理工藝。

背景技術

超純水又稱UPW水，是指電阻率達到18MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。可以用于超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術的制備過程。超純水是為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，其電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有離子的水。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經過串聯的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質量難以保證。

超純水可以在以下領域使用：(1)電子、電力、電鍍、照明實驗、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。(2)化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。(3)單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。(4)高壓變電器的清洗等。

超純水處理設備的工藝流程大致分成以下幾種：

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。

2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。

中國專利公開號為CN108046493A，發明創造的名稱為一種新型超純水處理工藝，包括如下步驟：(1)預處理：將自來水或普通去離子水中的機械雜質濾除；(2)活性炭過濾：經預處理后的水進行活性炭吸附；(3)反滲透膜過濾：經活性炭吸附處理后的水用反滲透膜進行反滲透處理；(4)EDI用水進水處理：通過電去離子處理深度除鹽后得到第一超純水；(5)紫外線殺菌：將EDI用水進水處理后得到的第一超純水經紫外線照射處理；(6)微濾處理：經紫外線照射處理后的水用微濾膜過濾器或者RO進行過濾處理，得到第二超純水。

但是，現有的超純水處理工具存在著耗費大量酸堿，需要經常進行離子再生和對環境有一定的破壞性的問題。

因此，發明一種超純水處理工藝顯得非常必要。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供一種超純水處理工藝，以解決現有的超純水處理工具存在著耗費大量酸堿，需要經常進行離子再生和對環境有一定的破壞性的問題。一種超純水處理工藝具體包括以下步驟：

步驟一：原水水源的連接；

步驟二：自來水的預處理；

步驟三：EDI用水進水處理：

步驟四：第一超純水的凈化處理；

步驟五：第二超純水的混床處理：

步驟六：二級紫外線殺菌：