[發(fā)明專利]一種超純水處理工藝

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910238925.2
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN109879500A
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發(fā)明（設計）人: 陳文元;龍津達;倪海波
• 申請（專利權）人: 兆德（南通）電子科技有限公司
• 主分類號: C02F9/08
• 分類號: C02F9/08;C02F103/04;C02F101/12
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責任公司 32218
• 代理人: 夏平

本發(fā)明提供一種超純水處理工藝，屬于水處理技術領域，該一種超純水處理工藝具體包括以下步驟：原水水源的連接；自來水的預處理；EDI用水進水處理：第一超純水的凈化處理；第二超純水的混床處理：二級紫外線殺菌：第三超純水的拋光混床處理；終端超濾處理；超純水的存儲輸送。本發(fā)明的一種超純水處理工藝對現(xiàn)有超純水處理工藝進行了改良，減小了酸堿的耗費量，避免經(jīng)常進行離子再生的問題和減小對環(huán)境的破壞，達到環(huán)保的目的。

技術領域

本發(fā)明屬于水處理技術領域，尤其涉及一種超純水處理工藝。

背景技術

超純水又稱UPW水，是指電阻率達到18MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水?？梢杂糜诔儾牧?半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當?shù)某R界精細技術的制備過程。超純水是為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當?shù)某R界精細技術生產出來的水，其電阻率大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值(25℃)。簡單得說就是幾乎去除氧和氫以外所有離子的水。這樣的水是一般工藝很難達到的程度，理論上可以采用二級反滲透再經(jīng)過串聯(lián)的混合型交換樹脂柱對二次反滲水進行處理，但是交換樹脂的再生不便，質量難以保證。

超純水可以在以下領域使用：(1)電子、電力、電鍍、照明實驗、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。(2)化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等。(3)單晶硅、半導體晶片切割制造、半導體芯片、半導體封裝、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產品及各種元器件等生產工藝。(4)高壓變電器的清洗等。

超純水處理設備的工藝流程大致分成以下幾種：

1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床(復床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。

2、采用反滲透水處理設備與離子交換設備進行組合的方式，其基本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設備→純水箱→混床(復床)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。

中國專利公開號為CN108046493A，發(fā)明創(chuàng)造的名稱為一種新型超純水處理工藝，包括如下步驟：(1)預處理：將自來水或普通去離子水中的機械雜質濾除；(2)活性炭過濾：經(jīng)預處理后的水進行活性炭吸附；(3)反滲透膜過濾：經(jīng)活性炭吸附處理后的水用反滲透膜進行反滲透處理；(4)EDI用水進水處理：通過電去離子處理深度除鹽后得到第一超純水；(5)紫外線殺菌：將EDI用水進水處理后得到的第一超純水經(jīng)紫外線照射處理；(6)微濾處理：經(jīng)紫外線照射處理后的水用微濾膜過濾器或者RO進行過濾處理，得到第二超純水。

但是，現(xiàn)有的超純水處理工具存在著耗費大量酸堿，需要經(jīng)常進行離子再生和對環(huán)境有一定的破壞性的問題。

因此，發(fā)明一種超純水處理工藝顯得非常必要。

發(fā)明內容

為了解決上述技術問題，本發(fā)明提供一種超純水處理工藝，以解決現(xiàn)有的超純水處理工具存在著耗費大量酸堿，需要經(jīng)常進行離子再生和對環(huán)境有一定的破壞性的問題。一種超純水處理工藝具體包括以下步驟：

步驟一：原水水源的連接；

步驟二：自來水的預處理；

步驟三：EDI用水進水處理：

步驟四：第一超純水的凈化處理；

步驟五：第二超純水的混床處理：

步驟六：二級紫外線殺菌：