[發(fā)明專利]一種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910237761.1 | 申請(qǐng)日： | 2019-03-27 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110015636B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李德釗;吳彬;張桂迎;李衎;林強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 浙江工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B81C1/00 | 分類號(hào)： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱月芬 |
| 地址： | 310014 浙*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 玻璃 堿金屬 原子 制備 方法 | ||
1.一種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法，所述的原子氣室為帶有純堿金屬注入通道的微米尺度原子氣室，包括：
原子氣室主體結(jié)構(gòu)，作為原子氣室的主要工作空間；
堿金屬原子填充通道，用于堿金屬進(jìn)入到原子氣室內(nèi)；
堿金屬原子注入通道，用于純堿金屬的直接加注及燒結(jié)封閉后密閉氣室的成形；
其特征在于：所述的原子氣室主體結(jié)構(gòu)為全玻璃包圍的腔體，腔體的縱截面寬度為1～500μm，高度為1～500μm，總長(zhǎng)度L為500～5000μm；所述的堿金屬原子填充通道為開(kāi)設(shè)在原子氣室主體結(jié)構(gòu)一端的微孔，微孔的截面面積S為10μm2～10mm2；所述的堿金屬原子注入通道為連接堿金屬原子填充通道的玻璃微管，玻璃微管的橫截面面積S′＝kS,k＝1.01～1.1；具體制備方法如下：
步驟1.選取玻璃基底(1)作為氣室的加工材料，在玻璃基底(1)表面進(jìn)行微通道成形加工，形成原子氣室主體結(jié)構(gòu)形貌(2)；原子氣室主體結(jié)構(gòu)形貌(2)為槽狀，其縱截面的寬度為1～500μm，深度為1～500μm，總長(zhǎng)度為500～5000μm；
步驟2.在原子氣室主體結(jié)構(gòu)形貌(2)的一端采用微小結(jié)構(gòu)成形加工方法加工出通孔(3)，形成堿金屬原子填充通道；
步驟3.選取另一個(gè)玻璃基底(4)，與玻璃基底(1)的形成原子氣室主體結(jié)構(gòu)形貌(2)的一面進(jìn)行鍵合封閉，形成原子氣室主體結(jié)構(gòu)；
步驟4.加工玻璃毛細(xì)管(5)，玻璃毛細(xì)管(5)的橫截面面積S′略大于通孔(3)橫截面面積S，S′＝kS,k＝1.01～1.1，將玻璃毛細(xì)管(5)的一端與通孔(3)的開(kāi)放端相互鍵合，形成堿金屬原子注入通道；
步驟5.采用純堿金屬加注工藝，通過(guò)玻璃毛細(xì)管(5)加注所需的純堿金屬之后，采用玻璃燒結(jié)的方法封閉堿金屬氣室，自然形成封閉結(jié)構(gòu)(6)，形成閉合的堿金屬原子氣室。
2.如權(quán)利要求1所述的一種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法，其特征在于：所述的玻璃為石英玻璃、高硼硅玻璃、或軟玻璃。
3.如權(quán)利要求1所述的一種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法，其特征在于：步驟1中采用MEMS加工工藝在玻璃基底(1)表面進(jìn)行微通道成形加工，形成原子氣室主體結(jié)構(gòu)形貌(2)。
4.如權(quán)利要求3所述的一種全玻璃堿金屬原子氣室的制備方法，其特征在于：步驟1中采用激光加工工藝在玻璃基底(1)表面進(jìn)行微通道成形加工，形成原子氣室主體結(jié)構(gòu)形貌(2)。
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