[發(fā)明專(zhuān)利]用于有毒氣體監(jiān)測(cè)的超中波紅外探測(cè)器

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910235972.1
• 申請(qǐng)日: 2019-03-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109950339A
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-06-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 詹健龍;宋禹忻;吳一岡;陶晟
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 浙江焜騰紅外科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/0352
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/0352;H01L31/101;G01N21/3504
• 代理公司: 嘉興啟帆專(zhuān)利代理事務(wù)所(普通合伙) 33253
• 代理人: 丁鵬

1.用于有毒氣體監(jiān)測(cè)的超中波紅外探測(cè)器，其特征在于，所述探測(cè)器的吸收波長(zhǎng)為3-6.5μm。

2.如權(quán)利要求1所述的用于有毒氣體監(jiān)測(cè)的超中波紅外探測(cè)器，所述探測(cè)器的吸收區(qū)由若干層超晶格層依次疊加構(gòu)成，每層超晶格層從下往上依次包括有InAs層、GaSb層，所述InAs層為11個(gè)單原子層厚度，所述GaSb層為11個(gè)單原子層厚度。

3.如權(quán)利要求2所述的用于有毒氣體監(jiān)測(cè)的超中波紅外探測(cè)器，其特征在于，所述吸收區(qū)的厚度為2-5μm。

4.如權(quán)利要求3所述的用于有毒氣體監(jiān)測(cè)的超中波紅外探測(cè)器，其特征在于，所述吸收區(qū)為n-型，少數(shù)載流子為空穴。

5.如權(quán)利要求4所述的用于有毒氣體監(jiān)測(cè)的超中波紅外探測(cè)器，其特征在于，所述吸收區(qū)為p-型，少數(shù)載流子為電子。

6.如權(quán)利要求1所述的用于有毒氣體監(jiān)測(cè)的超中波紅外探測(cè)器，其特征在于，所述吸收區(qū)通過(guò)分子束外延技術(shù)或者金屬有機(jī)化學(xué)氣相外延技術(shù)進(jìn)行生長(zhǎng)。