[發明專利]一種傳送裝置和加工設備

在審

• 申請號: 201910233782.6
• 申請日: 2019-03-26
• 公開（公告）號: CN111755365A
• 公開（公告）日: 2020-10-09
• 發明（設計）人: 周興寶
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;姜春咸

本發明提供一種傳送裝置和加工設備。該傳送裝置包括導輪、導軌和驅動件，導輪與驅動件活動連接，導輪在驅動件的驅動下轉動；導軌活動設置在導輪上，導軌隨導輪的轉動而移動；導軌用于設置待傳送件；傳送裝置還包括減震機構，導輪設置在減震機構上。該傳送裝置，通過設置減震機構，不僅能對傳送過程中的待傳送件形成支撐，而且能緩沖導輪傳送待傳送件過程中的震動，從而能夠吸收或釋放至少部分震動能量，進而減小或消除了震動對待傳送件的損壞，提高了待傳送件的工藝品質。

技術領域

本發明涉及半導體器件制備技術領域，具體地，涉及一種傳送裝置和加工設備。

背景技術

在半導體器件的制備工藝中，經常會涉及半成品的半導體器件需要在各個工藝腔室內穿行，以完成其在各個工藝腔室內的不同制備工藝。半導體器件通過傳送設備傳送至不同的工藝腔室中。傳統的傳送設備是通過固定設置在傳送設備中的導輪實現對半導體器件的傳送，即通常將半導體器件固定于載板上，載板上設置有導軌，導軌與導輪相互咬合，從而在導輪轉動的帶動下，將固定有半導體器件的載板傳送至目標工藝腔室內。

目前的傳送設備由于其安裝誤差，通常在半導體器件的傳送過程中不可避免地會產生震動，由于導輪是固定安裝，所以在載板的傳送過程中，震動很容易造成半導體器件的損壞。

如何減小傳送過程中震動對半導體器件的損壞已成為目前亟待解決的問題。

發明內容

本發明針對現有技術中存在的上述技術問題，提供一種傳送裝置和加工設備。該傳送裝置不僅能對傳送過程中的待傳送件形成支撐，而且能緩沖導輪傳送待傳送件過程中的震動，從而能夠吸收或釋放至少部分震動能量，進而減小或消除了震動對待傳送件的損壞，提高了待傳送件的工藝品質。

本發明提供一種傳送裝置，傳送裝置包括導輪、導軌和驅動件，所述導輪與所述驅動件活動連接，所述導輪在所述驅動件的驅動下轉動；所述導軌活動設置在導輪上，所述導軌隨所述導輪的轉動而移動,所述導軌用于設置待傳送件；所述傳送裝置還包括減震機構，所述導輪設置在所述減震機構上。

優選地，所述減震機構包括彈性支撐部，所述彈性支撐部包括支撐桿和支撐臂，所述支撐桿的一端固定在傳送載臺上，所述支撐桿的另一端與所述支撐臂的中點活動連接；所述支撐臂的兩端分別連接一個所述導輪，所述導輪能在所述驅動件的驅動下繞其軸自轉；

所述彈性支撐部還包括彈性件，所述彈性件沿其彈力方向的一端固定在傳送載臺上，所述彈性件沿其彈力方向的另一端與所述支撐臂連接。

優選地，所述彈性件為兩個，所述兩個所述彈性件以所述支撐桿為對稱軸對稱設置。

優選地，所述彈性件的彈力方向垂直于所述待傳送件的傳送方向。

優選地，所述彈性支撐部為多個，多個所述彈性支撐部沿直線排布，且所述彈性支撐部的排布方向平行于所述待傳送件的傳送方向。

優選地，所述減震機構還包括多個傳動件，每個所述傳動件活動連接兩個所述導輪，所述傳動件能在作為主動輪的一個所述導輪的轉動下帶動作為從動輪的另一個所述導輪轉動。

優選地，所述傳動件的傳動方向平行于所述待傳送件的傳送方向。

優選地，所述支撐臂與所述支撐桿之間通過鉸鏈連接。

優選地，所述導輪與所述驅動件之間通過萬向聯軸器連接。

本發明還提供一種加工設備，用于對待傳送件進行加工，所述加工設備包括上述傳送裝置，所述傳送裝置用于對所述待傳送件進行加工。

本發明的有益效果：本發明所提供的傳送裝置，通過設置減震機構，不僅能對傳送過程中的待傳送件形成支撐，而且能緩沖導輪傳送待傳送件過程中的震動，從而能夠吸收或釋放至少部分震動能量，進而減小或消除了震動對待傳送件的損壞，提高了待傳送件的工藝品質。