[發明專利]量子點層的圖案化方法、量子點器件及其制備方法

有效

• 申請號: 201910232123.0
• 申請日: 2019-03-26
• 公開（公告）號: CN109904335B
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發明（設計）人: 何偉;李翔;吳慧利;李士佩;賀芳;顧仁權;徐勝;尹東升;趙雪飛;張立震;黎午升;姚琪
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: H01L51/50
• 分類號: H01L51/50;H01L51/56
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王曉燕

1.一種量子點層的圖案化方法，包括：

形成量子點層，所述量子點層包括量子點和光引發劑；

采用預設波長的光照射所述量子點層的預設部分，使所述預設部分中的所述量子點猝滅，以形成圖案化的量子點層，且所述圖案化的量子點層保留所述量子點層的除所述預設部分之外的部分中的所述光引發劑，所述量子點為紅色量子點、綠色量子點和藍色量子點中的僅一種，所述預設部分的面積大于除所述預設部分之外的部分的面積，其中，

所述采用預設波長的光照射所述量子點層的預設部分之前包括：調整所述預設波長的光照射所述量子點層的預設部分時的焦平面和焦深，使得在所述量子點層的所述預設部分的厚度方向上所述焦平面位于所述量子點層的所述預設部分的上表面，并且所述焦深為所述量子點層的所述預設部分的厚度的2倍。

2.根據權利要求1所述的量子點層的圖案化方法，還包括：

在采用預設波長的光照射所述量子點層的預設部分之前，對所述量子點層進行前烘處理；并且

在采用預設波長的光照射所述量子點層的預設部分之后，對所述量子點層進行后烘處理。

3.根據權利要求2所述的量子點層的圖案化方法，其中，所述光引發劑的沸點高于所述后烘處理的溫度。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的量子點層的圖案化方法，其中，采用預設波長的光照射所述量子點層的預設部分包括：采用掩膜板對所述量子點層進行遮擋，所述掩膜板包括透光區域和遮光區域，所述透光區域對應所述量子點層的所述預設部分，所述遮光區域對應所述量子點層的除所述預設部分之外的部分。

5.根據權利要求1-3中任一項所述的量子點層的圖案化方法，其中，所述預設波長的光為紫外光，所述光引發劑為紫外光引發劑。

6.根據權利要求5所述的量子點層的圖案化方法，其中，所述光引發劑的分子式為R1(CO)R2，R1包括苯基、取代苯基、芳香基或者取代芳香基，R2包括烷基或者取代烷基。

7.根據權利要求6所述的量子點層的圖案化方法，其中，所述光引發劑包括2,2-二乙氧基苯乙酮、1-羥基環己基苯基甲酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基-1-丙酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-嗎啉-1-丙酮、2-二甲氨基-2-芐基-1-[4-(4-嗎啉基)苯基]-1-丁酮和2-羥基-2-甲基-1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-1-丙酮中的任意一種。

8.一種量子點器件的制備方法，包括：采用根據權利要求1-7中任一項所述的方法分別形成多個圖案化的量子點層，其中，

所述多個圖案化的量子點層以堆疊的方式設置，并且

所述多個圖案化的量子點層的每個包括非活性部分和活性部分，非活性部分對應于所述預設部分，活性部分對應于所述預設部分之外的部分。

9.根據權利要求8所述的量子點器件的制備方法，其中，

所述多個圖案化的量子點層的活性部分分別發出的光的顏色彼此不同；

在所述多個圖案化的量子點層的堆疊方向上，所述多個圖案化的量子點層的活性部分彼此不重疊。

10.根據權利要求8或9所述的量子點器件的制備方法，還包括：在形成所述多個圖案化的量子點層之前，形成彼此間隔開的多個第一電極，其中，

在所述多個圖案化的量子點層的堆疊方向上，所述多個圖案化的量子點層的活性部分分別與所述多個第一電極重疊。

11.根據權利要求8或9所述的量子點器件的制備方法，還包括：在形成所述多個圖案化的量子點層之后，形成第二電極以覆蓋所述多個圖案化的量子點層。

12.根據權利要求8或9所述的量子點器件的制備方法，其中，

所述預設波長的光為紫外光，所述光引發劑為紫外光引發劑，并且

所述方法還包括：在所述多個圖案化的量子點層的至少一側形成紫外光隔絕層。