[發明專利]真空設備放氣取樣裝置

在審

• 申請號: 201910232051.X
• 申請日: 2019-03-26
• 公開（公告）號: CN109781472A
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 赫梓宇;王永華;趙偉利;李震
• 申請（專利權）人: 核工業理化工程研究院
• 主分類號: G01N1/22
• 分類號: G01N1/22;G01N1/24
• 代理公司: 天津市宗欣專利商標代理有限公司 12103
• 代理人: 王龑

本發明公開了一種真空設備放氣取樣裝置，包括高真空設備，所述高真空設備與放氣量測量組件相連，所述放氣量測量組件包括與高真空設備連通的Ⅱ號閥門、Ⅰ號真空計、Ⅲ號閥門，所述Ⅲ號閥門與Ⅰ號分子泵連通，所述Ⅰ號分子泵與ⅩⅢ號閥門、Ⅺ號閥門、Ⅱ號真空計、放氣量測量容器串聯。本發明能夠獲得高真空設備單位時間內等效標準環境條件下放氣量。本發發明能夠進行高真空設備內放出氣體成分的全收集。本發明使用分子泵及液氮冷阱，有效減少了裝置內的油蒸汽等污染物，同時通過除氣，減少了裝置放氣對測量、取樣的影響。

技術領域

本發明屬于真空設備放氣測量及取樣技術領域，具體涉及一種真空設備放氣取樣裝置。

背景技術

任何材料處于真空環境都會產生氣體的釋放。放出氣體的多少可以用放氣量這一指標衡量，通常放氣量測量方法有定容法、定壓法、固定流導法、收集法和稱重法等。而對放氣成分分析的方法，通常有在被測設備上安裝分析儀器進行分析（在線分析）和采集設備放出氣體樣（取樣）再通過專業儀器分析兩種方法。

對于高真空設備，當存在轉動及運動部件時，內部產生的氣體流動，壓力呈不均勻分布，這時使用定容法、定壓法、固定流導法等無法準確的獲得放氣量。而采用收集法、稱重法等，需要收集高真空設備內部釋放出的全部氣體，因此，需要將高真空設備原有抽空管路隔斷，這一過程可能會導致高真空設備內壓力的升高，損害高真空設備。對于高真空設備放氣成分分析，如果采用在線分析，由于高真空設備內部壓力非均勻分布，處于高真空設備內部各部位的氣體成分及含量可能不同，無法準確分析放氣成分及含量。而采用取樣分析的方法，必須解決將高真空設備原有抽空管路隔斷后真空度破壞問題。與此同時，還需要解決氣體收集不完全的問題。

對于如何在保證高真空設備真空要求前提下，達到放氣量準確測量及取樣獲得全部放氣成分的裝置，通過查閱相關文獻，未見描述。

發明內容

本發明為解決現有技術存在的問題而提出，其目的是提供一種真空設備放氣取樣裝置。

本發明的技術方案是：一種真空設備放氣取樣裝置，包括高真空設備，所述高真空設備與放氣量測量組件相連，所述放氣量測量組件包括與高真空設備連通的Ⅱ號閥門、Ⅰ號真空計、Ⅲ號閥門，所述Ⅲ號閥門與Ⅰ號分子泵連通，所述Ⅰ號分子泵與ⅩⅢ號閥門、Ⅺ號閥門、Ⅱ號真空計、放氣量測量容器串聯。

所述放氣量測量容器兩端并聯有取樣組件，所述取樣組件包括依次串聯的Ⅲ號真空計、Ⅳ號閥門、取樣器、Ⅴ號閥門。

所述取樣器置于液氮罐中。

所述高真空設備、Ⅰ號分子泵、Ⅱ號真空計、放氣量測量容器、取樣器還與抽真空組件連通。

所述抽真空組件包括機械泵，所述機械泵與Ⅱ號分子泵連通，所述Ⅱ號分子泵通過Ⅵ號閥門、Ⅶ號閥門與液氮冷阱連通，所述液氮冷阱通過Ⅸ號閥門、Ⅹ號閥門與放氣量測量容器連通。

所述取樣組件一端與ⅩⅢ號閥門、Ⅺ號閥門之間的管路接通，另一端與Ⅸ號閥門、Ⅹ號閥門之間的管路接通。

所述Ⅵ號閥門、Ⅶ號閥門之間設置有抽真空支管路，所述抽真空支管路另一端與Ⅱ號閥門、Ⅲ號閥門之間的管路連通。

所述抽真空支管路上設置有ⅩⅣ號閥門、Ⅷ號閥門。

所述抽真空支管路上還設置有Ⅰ號分支管和Ⅱ號分支管，所述Ⅰ號分支管上設置有Ⅻ號閥門。

所述Ⅰ號分支管與ⅩⅢ號閥門、Ⅺ號閥門之間的管路接通，所述Ⅱ號分支管與Ⅸ號閥門、Ⅹ號閥門之間的管路接通。

本發明能夠獲得高真空設備單位時間內等效標準環境條件下放氣量。本發發明能夠進行高真空設備內放出氣體成分的全收集。本發明使用分子泵及液氮冷阱，有效減少了裝置內的油蒸汽等污染物，同時通過除氣，減少了裝置放氣對測量、取樣的影響。

附圖說明