[發明專利]一種用于單晶硅生長爐坩堝提升架的防下滑輔助鎖緊裝置

在審

• 申請號: 201910231862.8
• 申請日: 2019-03-26
• 公開（公告）號: CN109837586A
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發明（設計）人: 曹建偉;傅林堅;胡建榮;高宇;倪軍夫;葉鋼飛;春偉博;譚慶;馮賢劍
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: C30B15/30
• 分類號: C30B15/30;C30B29/06
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

本發明是關于單晶硅制備設備領域，涉及一種用于單晶硅生長爐坩堝提升架的防下滑輔助鎖緊裝置。包括驅動機構；驅動機構包括驅動電機與控制元件；輔助鎖緊裝置包括舵機、棘爪與棘輪；舵機設于機架上，通過第一傳動軸與棘爪相連，棘爪尖端頂部與彈簧一端相連，彈簧另一端與機架相連；棘輪設于棘爪旁側，中心連接第二傳動軸，傳動軸兩端各通過聯軸器與驅動電機和滾珠絲桿螺旋升降機相連。控制元件分別與驅動電機與舵機相連。本發明能夠在除了抱閘電機對安裝在滾珠絲桿上的坩堝提升架提供防止下滑的功能外，提供額外的輔助鎖緊功能，能夠確保坩堝提升架在實際的生產過程中，在提升和下降的過程中，杜絕出現可能的下落風險，確保生產過程的安全性。

技術領域

本發明是關于單晶硅制備設備領域，涉及一種用于單晶硅生長爐坩堝提升架的防下滑輔助鎖緊裝置。

背景技術

單晶硅是電子信息材料和光伏行業中的最基礎性材料，而直拉法單晶爐是生產硅單晶的關鍵技術裝備。單晶爐在生產的過程中，需要完成坩堝提升架的升降，從而帶動完成單晶爐的主爐室內坩堝的升降，在這個過程中，需要保證坩堝提升架在停止狀態下不會產生下滑的動作。

現有的技術方案是在坩堝提升這套機構中，驅動部件直接使用抱閘電機，帶抱閘的電機保證了，在電機停止運動時，驅動坩堝提升架升降的滾珠絲桿螺旋升降機停止運動，由于滾珠絲桿沒有梯形絲桿的自鎖性能，但是帶抱閘的電機內的抱閘機構能夠完成對電機軸的鎖緊，從而保證了和滾珠絲桿連接的提升架不會產生下滑的運動。但是此技術方案僅能夠保證抱閘電機的抱閘機構在正常穩定工作條件下時，完成對滾珠絲桿的鎖緊，而并沒有考慮到出現一定幾率意外時候的情況。

發明內容

本發明要解決的技術問題是，克服現有技術中的不足，提供一種用于單晶硅生長爐坩堝提升架的防下滑輔助鎖緊裝置。

為解決上述技術問題，本發明采用的解決方案是：

提供一種用于單晶硅生長爐坩堝提升架的防下滑輔助鎖緊裝置，包括驅動機構、輔助鎖緊裝置與滾珠絲桿螺旋升降機；

驅動機構包括驅動電機與控制元件；

輔助鎖緊裝置包括舵機、棘爪與棘輪；舵機設于機架上，通過第一傳動軸與棘爪相連，棘爪尖端頂部與彈簧一端相連，彈簧另一端與機架相連；棘輪設于棘爪旁側，中心連接第二傳動軸，傳動軸兩端各通過聯軸器與驅動電機和滾珠絲桿螺旋升降機相連。

控制元件分別與驅動電機與舵機相連。

作為一種改進，驅動電機為帶抱閘的驅動電機。

作為一種改進，彈簧通過螺釘與棘爪相連。

作為一種改進，彈簧通過螺釘與機架相連。

作為一種改進，棘輪通過平鍵與第二傳動軸連接。

該裝置的工作過程為，當輔助鎖緊裝置處于鎖緊的狀態下，驅動電機不工作時，舵機也不工作，彈簧處于正常壓縮的狀態，棘爪尖端貼合在棘輪的齒背上，當提升架在靜止狀態下有下滑的動作，由于棘爪對棘輪齒的限制，棘輪無法向朝向棘爪一側轉動，因而可以防止提升架的下滑；當輔助鎖緊裝置處于松開的狀態下，當驅動電機準備工作時，控制元件在驅動電機工作前的0.1-0.2s內，使舵機先于驅動電機工作，使棘爪轉動到達某一角度位置并保持，彈簧壓縮量加大，棘爪從棘輪的齒背處完全脫離，棘輪為可自由轉動的狀態，驅動電機可以帶動滾珠絲桿螺旋升降機運動。當驅動電機準備停止，控制元件在驅動電機停止后的0.1-0.2s內，使舵機停止工作，彈簧迫使棘爪回到輔助鎖緊裝置處于鎖緊的狀態的位置，整個裝置回到輔助鎖緊裝置處于鎖緊的狀態。

與現有技術相比，本發明的技術效果是：

本發明能夠在除了抱閘電機對安裝在滾珠絲桿上的坩堝提升架提供防止下滑的功能外，提供額外的輔助鎖緊功能，能夠確保坩堝提升架在實際的生產過程中，在提升和下降的過程中，杜絕出現可能的下落風險，確保生產過程的安全性。