[發明專利]一種微環集成的陣列波導光柵波分復用器在審
| 申請號： | 201910231592.0 | 申請日： | 2019-03-26 |
| 公開（公告）號： | CN109991700A | 公開（公告）日： | 2019-07-09 |
| 發明（設計）人： | 方青;顧苗苗;陳曉鈴;張志群 | 申請（專利權）人： | 昆明理工大學 |
| 主分類號： | G02B6/12 | 分類號： | G02B6/12;G02B6/122;G02B6/293;G02F1/01 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 650093 云*** | 國省代碼： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陣列波導光柵 微環 波分復用器 諧振濾波器 傳輸波導 輸出波導 波導層 光信號傳輸 電極引線 二次濾波 加熱電極 隔離層 硅襯底 上包層 總損耗 串擾 濾波 半導體 | ||
1.一種微環集成的陣列波導光柵波分復用器，從下至上包括硅襯底、隔離層、波導層、上包層、加熱電極和電極引線，其特征在于：所述波導層包括陣列波導光柵（110）、若干個傳輸波導（120）和若干個微環諧振濾波器（130），陣列波導光柵（110）中設有若干個輸出波導（5），每個輸出波導（5）均通過一個傳輸波導（120）連接一個微環諧振濾波器（130），陣列波導光柵（110）中若干個輸出波導（5）依次通過若干個傳輸波導（120）連接若干個微環諧振濾波器（130）組成微環集成的陣列波導光柵波分復用器。
2.根據權利要求1所述的微環集成的陣列波導光柵波分復用器，其特征在于：所述陣列波導光柵（110）包括輸入波導（1）、輸入平板波導（2）、陣列波導（3）、輸出平板波導（4）和輸出波導（5），輸入波導（1）連接輸入平板波導（2），輸入平板波導（2）通過陣列波導（3）連接輸出平板波導（4），輸入平板波導（2）和輸出平板波導（4）設置成羅蘭圓結構，輸出平板波導（4）連接輸出波導（5）。
3.根據權利要求2所述的微環集成的陣列波導光柵波分復用器，其特征在于：所述輸入波導（1）與輸出波導（5）數目為任意正整數。
4.根據權利要求1所述的微環集成的陣列波導光柵波分復用器，其特征在于：所述微環諧振濾波器（130）包括輸入直波導（131）、環形諧振腔（132）、波長調諧結構（11）和輸出直波導（133），輸入直波導（131）和位于輸入直波導（131）下部的環形諧振腔（132）間存在第一耦合區（10），輸出直波導（133）和位于輸出直波導（133）上部的環形諧振腔（132）間存在第二耦合區（12）。
5.根據權利要求4所述的微環集成的陣列波導光柵波分復用器，其特征在于：所述微環諧振濾波器（130）的自由光譜儀區FSR要大于陣列波導光柵（110）的相鄰通道間隔。
6.根據權利要求4所述的微環集成的陣列波導光柵波分復用器，其特征在于：所述微環諧振濾波器（130）每個微環諧振濾波器的諧振波長必須與相連的陣列波導光柵（110）輸出波導（5）輸出的光信號中心波長相同或相近。
7.根據權利要求4所述的微環集成的陣列波導光柵波分復用器，其特征在于：所述微環諧振濾波器陣列（130）的輸入直波導（131）分為輸入直波導輸入端（6）和輸入直波導直輸出端（7），輸出直波導（133）分為輸出直波導下載端（8）和輸出直波導上載端（9）。
8.根據權利要求4所述的微環集成的陣列波導光柵波分復用器，其特征在于：所述微環諧振濾波器陣列（130）的波長調諧結構（11）為作用在環形諧振腔（132）上連接驅動電源的加熱器，位于波導層且由離子摻雜形成，或者位于波導的SiO2上包層由高電阻材料構成。
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