[發(fā)明專利]一種復(fù)合柔性體聲波諧振器及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910230149.1
• 申請日: 2019-03-26
• 公開（公告）號: CN109889181B
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鐘慧;王詩元;彭春瑞;石玉;尉旭波
• 申請（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17;H03H3/02;C08L79/08;C08K9/04;C08K3/38;C08J5/18
• 代理公司: 成都正華專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51229
• 代理人: 陳選中

1.一種復(fù)合柔性體聲波諧振器，其特征在于：包括由下至上依次設(shè)置的基底(1)、底電極(3)、壓電層(4)和頂電極(5)，所述基底為聚酰亞胺和氮化硼復(fù)合的復(fù)合柔性薄膜基底，所述復(fù)合柔性薄膜基底的厚度為17.5-22.5μm；

所述復(fù)合柔性薄膜基底的具體制備步驟如下：

S1.聚酰亞胺前體—聚酰胺酸的合成：將二氨基二苯醚和二甲基乙酰胺混合，攪拌直至二氨基二苯醚完全溶解，然后加入均苯四甲酸二酐，攪拌后得到粘性聚酰胺酸溶液；

S2.氮化硼填料的表面改性：將平均粒徑5μm的微細(xì)化氮化硼和平均尺寸為60nm的納米氮化硼按微細(xì)化氮化硼的質(zhì)量占總質(zhì)量60-90％混合，然后加入乙醇中進(jìn)行超聲處理，向超聲溶液中再加入三異硬酯酸鈦酸異丙酯、N-(3-二甲基氨基丙基)-N-乙基碳二亞胺鹽酸鹽和4-二甲基氨基吡啶，常溫混合攪拌8-12h進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)完全后經(jīng)離心，洗滌，干燥，制得改性后的氮化硼填料；

S3.復(fù)合薄膜材料的制備：將聚酰亞胺前體與表面改性后的氮化硼填料均勻混合，攪拌以形成均勻的復(fù)合前體，真空干燥后，制得粘性復(fù)合聚酰胺酸膜，然后對其加熱，將聚酰胺酸膜轉(zhuǎn)化為聚酰亞胺膜；

S4.化學(xué)機(jī)械拋光：對制備完成的復(fù)合薄膜材料進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光；

S5.復(fù)合柔性薄膜的制備：將聚酰亞胺前體與表面改性后的氮化硼填料混勻，形成混合液，使用該混合液在S4步驟制備成的復(fù)合薄膜材料上甩膠，再亞胺化，制得復(fù)合柔性薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合柔性體聲波諧振器，其特征在于：所述S1步驟中二氨基二苯醚和二甲基乙酰胺的摩爾比為0.8-1.2:20-30。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合柔性體聲波諧振器，其特征在于：所述S1步驟中二氨基二苯醚與均苯四甲酸二酐的摩爾比為0.8-1.2:0.8-1.2。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合柔性體聲波諧振器，其特征在于：所述S2步驟中三異硬酯酸鈦酸異丙酯與氮化硼的摩爾比為1.8-2.2:0.8-1.2。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合柔性體聲波諧振器，其特征在于：所述S3步驟中氮化硼質(zhì)量占復(fù)合薄膜材料質(zhì)量的25％—40％。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合柔性體聲波諧振器，其特征在于：所述S4步驟中化學(xué)機(jī)械拋光工藝的條件為轉(zhuǎn)速60rpm，使用顆粒大小50nm的SiO₂懸浮拋光料，拋光液PH值為10。

7.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的復(fù)合柔性體聲波諧振器，其特征在于：所述S4步驟還包括將化學(xué)機(jī)械拋光過后的復(fù)合薄膜材料進(jìn)行850KHZ兆聲清洗，清洗液為去離子水，把拋光料從拋光表面剝離。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的復(fù)合柔性體聲波諧振器，其特征在于：所述S4步驟中所制備的復(fù)合薄膜材料的厚度為15-20μm。