[發明專利]一種電子領域鍵合線用高阻尼高導熱金合金及其工藝

在審

• 申請號: 201910225006.1
• 申請日: 2019-03-25
• 公開（公告）號: CN109881037A
• 公開（公告）日: 2019-06-14
• 發明（設計）人: 劉亞軍
• 申請（專利權）人: 杭州辰卓科技有限公司
• 主分類號: C22C5/02
• 分類號: C22C5/02;C22C1/03;C22F1/14;C22F1/02;B21C37/04;H01L23/49;H01L21/48
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1.一種電子領域鍵合線用高阻尼高導熱金合金及其工藝；按照重量百分比,該合金的成分為:Mn:20.0-25.0wt.%,Fe:4.0-5.0wt.%,Ni:1.0-2.0wt.%,Ge:0.4-0.6wt.%,Sc:0.1-0.2wt.%,Ru:0.2-0.4wt.%,Sn:2.0-3.0wt.%,Be:0.1-0.2wt.%,余量為金。

2.根據權利要求1所述一種電子領域鍵合線用高阻尼高導熱金合金及其工藝，其特征在于包括如下冶煉步驟：將如上配比的原料在感應電爐中熔煉，其中活潑或者易揮發元素以中間合金的形式加入;熔煉過程中采用石墨坩堝和氬氣保護；坩堝加熱到1100-1200度后形成合金熔體，并利用電磁攪拌效應充分攪拌15分鐘左右;將合金熔體在1100度保溫靜置15分鐘后澆鑄到水玻璃或者石墨模具內進行鑄造成棒狀（直徑50-60mm）。

3.根據權利要求1所述一種電子領域鍵合線用高阻尼高導熱金合金及其工藝，其特征在于包括如下加工步驟：（1）第一次的開坯，將鑄錠材料真空爐中加熱到600-700度后取出并進行旋鍛開坯加工，直徑縮5-6%，然后進行真空600-700度回火1小時后室溫冷卻；（2）多道次的旋鍛，對棒材進行常溫下的旋鍛加工，每道次直徑縮5-6%，每兩道次后要進行600-700度的真空再結晶退火1小時并隨爐冷卻，如此重復直到最終的棒材直徑達到1-2mm；（3）多道次的拉絲，對棒材料進行多道次的室溫拉絲，每道次直徑縮5-6%，每兩道次后要進行600-700度的再結晶退火1小時并隨爐冷卻，如此重復直到最終的絲材直徑達到所需的金合金鍵合線直徑；（4）最后的熱處理，將具備最終尺寸的金鍵合線在400-420度下時效4個小時并隨爐冷卻。