[發明專利]一種氣體過濾裝置

在審

• 申請號: 201910224200.8
• 申請日: 2019-03-22
• 公開（公告）號: CN109794109A
• 公開（公告）日: 2019-05-24
• 發明（設計）人: 李廣圣;蔣雷;謝超;朱凱迪
• 申請（專利權）人: 成都中電熊貓顯示科技有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00;B01D46/42;H05F3/06
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 文小莉;劉芳

本發明提供一種氣體過濾裝置。本發明的氣體過濾裝置，包括風機過濾機組和多個離子風棒；風機過濾機組包括風機、氣體管道、第一過濾組件和第二過濾組件，風機、第一過濾組件和第二過濾組件均設置在氣體管道內，且第一過濾組件、風機和第二過濾組件沿氣體管道的出風方向依次設置，風機為軸流風機，氣體管道的進風口用于吸入外界空氣，離子風棒設置在氣體管道的出風口，第一過濾組件和第二過濾組件用于將進風口吸入的外界空氣過濾為清潔空氣，離子風棒用于將由出風口吹出的清潔空氣電離為帶有電荷的空氣。本發明的氣體過濾裝置可同時保障基板潔凈度及消除基板靜電，工作效率高，可提高產品良率。

技術領域

本發明涉及半導體及平板顯示技術領域，尤其涉及一種氣體過濾裝置。

背景技術

在平板顯示與半導體行業中，為了保證顯示面板的質量，生產現場的環境質量一般需要進行嚴格的控制，以避免環境中的雜質對顯示面板的生產造成影響。

目前，在生產時，基板在制作及傳輸過程中會產生和積累靜電電荷，并可能引發靜電擊穿現象，為了避免靜電荷對基板等產品造成影響，可以利用離子棒消除基板表面的靜電電荷。具體的，離子棒可以配合氣源使用，離子棒通電后，在離子棒的周圍產生高壓電場，氣源所吹出的空氣通過離子棒所產生的高壓電場后產生帶電離子，帶電離子隨氣源的氣流運動至基板表面，與基板表面的靜電電荷中和，達到消除基板表面靜電的目的。

但是，目前利用離子棒消除基板表面的靜電，離子棒的電離范圍較小，對于靜電荷的去除效果較差，影響到了基板的生產質量。

發明內容

本發明提供一種氣體過濾裝置，具有較大的靜電消除范圍，能夠提高產品良率。

本發明提供一種氣體過濾裝置，包括風機過濾機組和多個離子風棒；風機過濾機組包括風機、氣體管道、第一過濾組件和第二過濾組件，風機、第一過濾組件和第二過濾組件均設置在氣體管道內，且第一過濾組件、風機和第二過濾組件沿氣體管道的出風方向依次設置，風機為軸流風機，氣體管道的進風口用于吸入外界空氣，離子風棒設置在氣體管道的出風口，第一過濾組件和第二過濾組件用于將進風口吸入的外界空氣過濾為清潔空氣，離子風棒用于將由出風口吹出的清潔空氣電離為帶有電荷的空氣。

在一種可能的實施方式中，氣體過濾裝置還包括擋板，擋板蓋設在出風口上并封閉出風口與離子風棒之間的間隙，以使出風口吹出的清潔空氣經由離子風棒排出；其中，離子風棒在出風口覆蓋的范圍內均勻排布。

在一種可能的實施方式中，出風口的截面為矩形，多個離子風棒沿出風口的長度方向和寬度方向呈矩陣式排列。

在一種可能的實施方式中，離子風棒包括殼體和離子針；

殼體具有兩端開口的容置腔，容置腔的一端開口朝向第二過濾組件并形成進風端，另一端開口背離第二過濾組件并形成出風端，離子針設置在容置腔內，且離子針的第一端與容置腔的進風端相對固定，離子針的第二端向容置腔的出風端伸出；容置腔的出風端的內徑大于容置腔的進風端的內徑。

在一種可能的實施方式中，容置腔的出風端的橫截面積沿進風端至出風端的方向逐漸增大，且容置腔具有流線型腔壁。

在一種可能的實施方式中，容置腔的進風端具有至少兩個，且進風端的延伸方向與離子針的長度方向相互垂直。

在一種可能的實施方式中，氣體過濾裝置還包括多個可調基座，可調基座與離子風棒一一對應設置，且可調基座第一端與離子風棒連接，可調基座第二端固定在出風口內；可調基座的第一端用于相對于第二端偏轉，以使離子風棒的指向與出風口的出風方向之間具有可調的夾角。

在一種可能的實施方式中，進風口的橫截面積可以調節。

在一種可能的實施方式中，第一過濾組件包括至少一個第一濾網，第二過濾組件包括至少一個第二濾網，第一濾網的濾孔大小大于第二濾網的濾孔大小。