[發明專利]觸控基板及其制作方法、觸控顯示裝置有效
| 申請號: | 201910222324.2 | 申請日: | 2019-03-22 |
| 公開(公告)號: | CN109976578B | 公開(公告)日: | 2020-09-22 |
| 發明(設計)人: | 陳軍;陳啟程;張明;楊健 | 申請(專利權)人: | 合肥鑫晟光電科技有限公司;京東方科技集團股份有限公司 |
| 主分類號: | G06F3/041 | 分類號: | G06F3/041 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人: | 許靜;張博 |
| 地址: | 230012 *** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 觸控基板 及其 制作方法 顯示裝置 | ||
1.一種觸控基板,其特征在于,包括:
襯底基板;
位于所述襯底基板的觸控區域、采用納米銀制作的觸控電極,所述觸控電極包括沿第一方向排布的第一觸控電極和沿第二方向排布的第二觸控電極,所述第一方向與所述第二方向相交;
位于所述觸控電極遠離所述襯底基板一側的第一絕緣層;
位于所述第一絕緣層上的觸控電極架橋,所述觸控電極架橋通過貫穿所述第一絕緣層的第一過孔連接相鄰的所述第一觸控電極和/或所述第二觸控電極,所述觸控電極架橋所適用的刻蝕液與納米銀所適用的刻蝕液不同;
位于所述襯底基板的走線區域的導電走線;
位于所述導電走線背向所述襯底基板一側的絕緣圖形,所述絕緣圖形位于所述第一絕緣層和所述襯底基板之間,所述走線區域位于所述觸控區域的周邊;
所述觸控基板還包括:
位于所述第一絕緣層上、與所述觸控電極架橋連接的觸控信號線;
位于所述觸控信號線遠離所述襯底基板一側的第二絕緣層,所述絕緣圖形與所述第二絕緣層的圖形一致。
2.根據權利要求1所述的觸控基板,其特征在于,所述導電走線與所述觸控電極同層同材料設置。
3.根據權利要求1或2所述的觸控基板,其特征在于,所述襯底基板為柔性襯底基板。
4.一種觸控顯示裝置,其特征在于,包括如權利要求1-3中任一項所述的觸控基板。
5.一種觸控基板的制作方法,其特征在于,包括:
提供一襯底基板;
在所述襯底基板上形成納米銀層,利用光刻工藝對所述納米銀層進行構圖,在所述襯底基板的觸控區域形成觸控電極,所述觸控電極包括沿第一方向排布的第一觸控電極和沿第二方向排布的第二觸控電極,所述第一方向與所述第二方向相交;
形成第一絕緣層;
利用光刻工藝在所述第一絕緣層上形成觸控電極架橋,所述觸控電極架橋通過貫穿所述第一絕緣層的第一過孔連接相鄰的所述第一觸控電極和/或所述第二觸控電極,所述觸控電極架橋所適用的刻蝕液與納米銀所適用的刻蝕液不同;
所述在所述襯底基板上形成納米銀層之后,對所述納米銀層進行構圖之前,所述方法還包括:
形成位于所述襯底基板的走線區域的絕緣圖形,所述走線區域位于所述觸控區域的周邊,所述絕緣圖形位于所述走線區域的納米銀層上;
所述利用光刻工藝對所述納米銀層進行構圖包括:
對未被所述絕緣圖形覆蓋的納米銀層進行構圖;
所述利用光刻工藝在所述第一絕緣層上形成觸控電極架橋之后,所述方法還包括:
形成與所述觸控電極架橋連接的觸控信號線;
形成第二絕緣層,其中,采用相同的掩膜板形成所述絕緣圖形和所述第二絕緣層。
6.根據權利要求5所述的觸控基板的制作方法,其特征在于,所述方法還包括:
在形成所述絕緣圖形的同一次構圖工藝中,形成位于所述襯底基板的周邊區域的對位標記,所述周邊區域位于所述走線區域的周邊。
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