[發明專利]一種基于SE的堿拋光高效PERC電池工藝

有效

• 申請號: 201910221252.X
• 申請日: 2019-03-22
• 公開（公告）號: CN110010721B
• 公開（公告）日: 2020-11-06
• 發明（設計）人: 鄭云龍;張玉前;龐三鳳;蘇世杰;陳世琴
• 申請（專利權）人: 通威太陽能（合肥）有限公司;通威太陽能（安徽）有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;C09G1/00
• 代理公司: 昆明合眾智信知識產權事務所 53113
• 代理人: 張璽

1.一種基于SE的堿拋光高效PERC電池工藝，包括以下步驟：

步驟S01、制絨：單晶硅片經過表面制絨獲得絨面結構；

步驟S02、擴散：通入三氯氧磷和硅片進行反應，實現擴散制結；

步驟S03、SE工藝：選擇性發射極在輕摻雜的硅襯底上，通過微米尺寸的激光束有選擇性地進行雜質原子的重摻雜；

步驟S04、熱氧：在SE工藝后增加高溫熱氧工藝，在硅片表面生產沉積一層二氧化硅保護層；

步驟S05、去PSG：經過去PSG將邊緣PN結刻蝕去除；

步驟S06、堿拋光：采用優化后的堿拋配方，對硅片進行堿拋光；

步驟S07、退火：對堿拋光后的硅片進行退火，在硅片表面生產沉積二氧化硅膜層；

步驟S08、背鈍化：在硅片背部通過ALD或PECVD方式沉積三氧化二鋁鈍化膜層；

步驟S09、背膜：在硅片的背面生長沉積氮化硅膜；

步驟S10、正膜：在硅片的正面生長沉積氮化硅膜；

步驟S11、激光開槽：對鍍膜后的硅片背面進行激光開槽；

步驟S12、印刷燒結：經過絲網印刷完成背面和正面印刷，然后進行燒結工藝；

步驟S13、電注入：通過光衰爐或者電注入爐；

步驟S14、測試分檢：最后對電池片進行電池測試分檔；

其特征在于：所述優化后的堿拋配方包括三種堿拋液，其一包括200-350ml的添加劑補液、300-1000ml的堿補液和7-9L的純水補液；其二包括250-400ml的添加劑補液、850-1150ml的堿補液和8-10L的純水補液；其三包括300-500ml的添加劑補液、1000-1300ml的堿補液和9-11L的純水補液；

步驟S06中，堿拋光所使用的優化后的堿拋配方按照階梯式進行補加：

第1-15批次，添加劑補液量為200-350ml，堿補液量為300-1000ml，純水補液量為7-9L；

第16-30批次，添加劑補液量為250-400ml，堿補液量為850-1150ml，純水補液量為8-10L；

第31-60批次，添加劑補液量為300-500ml，堿補液量為1000-1300ml，純水補液量為9-11L。

2.根據權利要求1所述的一種基于SE的堿拋光高效PERC電池工藝，其特征在于：所述堿補液選用氫氧化鉀溶液。