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[發明專利]脂環族二酐單體及高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜在審

專利信息
申請號: 201910214276.2 申請日: 2019-03-20
公開(公告)號: CN109912616A 公開(公告)日: 2019-06-21
發明(設計)人: 曹春;李偉杰;周光大;林建華 申請(專利權)人: 浙江福斯特新材料研究院有限公司
主分類號: C07D493/04 分類號: C07D493/04;C07D307/89;C07D307/93;C08G73/10;C08J5/18;C08L79/08
代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司 33200 代理人: 邱啟旺
地址: 311305 浙江省杭*** 國省代碼: 浙江;33
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 聚酰亞胺薄膜 低介電常數 脂環族二酐 高透明 脂環族聚酰亞胺 前體溶液 溶解 非質子性極性溶劑 氮氣 微電子工業 惰性氣體 二胺單體 非質子性 極性溶液 介電常數 介電損耗 力學性能 透光性能 應力消除 應用要求 酰亞胺化 基材 制備 薄膜
【權利要求書】:

1.一種脂環族二酐單體,其特征在于,它具有如下(1)~(6)所示任意一種結構:

其中,R1為如下結構(7)~(15)中的任意一種:

其中,1≤n≤6。

2.一種高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,通過以下方法制備得到:

(1)制備脂環族聚酰亞胺前體溶液:將二胺單體充分溶解于非質子性極性溶劑中,之后加入溶解有脂環族二酐單體的非質子性極性溶液,并在氮氣或惰性氣體的保護下于-10~35℃范圍內反應0.5-6h,得到脂環族聚酰亞胺前體溶液。所述脂環族二酐單體和二胺單體的摩爾比為1:0.85-1.15之間,且脂環族聚酰亞胺前體溶液中,脂環族二酐單體和二胺單體的總質量分數為10-35wt%。所述脂環族聚酰胺酸前體溶液的粘度為1000-40000cp,優選為2000-20000cp。

(2)涂膜:將脂環族聚酰亞胺前體溶液涂布于基材上。

(3)酰亞胺化:在氮氣氛圍下,將涂膜后的基材于50-80℃干燥8-24h;之后加熱至150℃,保溫30-90min;再加熱至200℃,保溫30-90min;再加熱至250℃,保溫30-90min;最后,加熱至340-360℃,保溫5-60min。

(4)應力消除:控制降溫速率為1-10℃/min,直到室溫。

3.根據權利要求2所述高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,所述二胺單體由1,4-二胺基苯、4,4’-二胺基聯苯、4,4-二氨基二苯醚、4,4’-二氨基二苯酮、4,4’-二氨基二苯醚二苯砜、4,4’-二氨基二苯醚雙酚A、2,2’-二甲基-4,4’-二氨基聯苯的一種或多種按任意配比混合組成。

4.根據權利要求2所述高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,所述非質子性極性溶劑由N-甲基吡咯烷酮、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、二甲基亞砜、二乙二醇單甲基醚中的一種或多種按任意配比混合組成。

5.根據權利要求2所述高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,所述基材包括銅、鋁、玻璃等。

6.根據權利要求2所述高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,所述涂布的工藝包括旋涂法、噴涂法、浸漬法、流延法等。

7.根據權利要求2所述高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,所述步驟1中,所述反應溫度優選為5-30℃,反應時間優選為1-2h。

8.根據權利要求7所述高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,反應溫度優選為室溫20-25℃。

9.根據權利要求2所述高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,所述步驟3中,所述干燥溫度優選為60℃,干燥時間優選為12h;在150℃、200℃、250℃保溫時間優選為60min;最后加熱溫度優選為350℃,反應時間優選為10-30min。

10.根據權利要求2所述高透明低介電常數聚酰亞胺薄膜,其特征在于,所述步驟4中,降溫速率優選為2-5℃/min,降溫開始的高溫段350-150℃在氮氣保護中進行。

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