[發(fā)明專(zhuān)利]金屬膜蝕刻組合物及利用其的蝕刻方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910212233.0 | 申請(qǐng)日： | 2019-03-20 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN111621785A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-09-04 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 樸相承;金益儁;金希泰;李寶研;金世訓(xùn) | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 易案愛(ài)富科技有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23F1/16 | 分類(lèi)號(hào)： | C23F1/16;C23F1/18;C23F1/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227 | 代理人： | 苗堃;金世煜 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 金屬膜 蝕刻 組合 利用 方法 | ||
1.一種金屬膜蝕刻組合物，其特征在于，
包含過(guò)氧化氫、有機(jī)酸、二元醇系高分子和水，
pH范圍為3.0至4.4。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，所述有機(jī)酸包含亞氨基二琥珀酸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，所述有機(jī)酸還包含選自丙二酸、乙醇酸、乙酸、甲酸、檸檬酸、草酸、丁酸、戊酸、丙酸、酒石酸和葡萄糖酸中的任一種或兩種以上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，所述二元醇系高分子包含聚乙二醇。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，所述金屬膜蝕刻組合物包含10至40重量％的過(guò)氧化氫、0.1至10重量％的有機(jī)酸、0.1至5重量％的二元醇系高分子和余量的水。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，所述金屬膜蝕刻組合物還包含選自磷酸銨、磷酸氫銨、過(guò)磷酸銨、氟化銨和氟化氫銨中的任一種或兩種以上的銨系化合物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，所述金屬膜蝕刻組合物還包含唑系化合物。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，所述金屬膜蝕刻組合物還包含選自環(huán)己胺、正己胺、異己胺和新己胺中的任一種或兩種以上的雙氧水穩(wěn)定劑。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，所述金屬膜蝕刻組合物還包含選自氫氧化鈉和氫氧化鉀中的任一種以上的pH調(diào)節(jié)劑。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的金屬膜蝕刻組合物，其中，相對(duì)于硅膜或銦系氧化膜，所述金屬膜蝕刻組合物將金屬膜以無(wú)限選擇比選擇性地進(jìn)行蝕刻，所述硅膜為選自氧化硅膜和氮化硅膜中的任一種以上，所述銦系氧化膜為選自銦鋅氧化物膜、銦錫氧化物膜和銦鎵鋅氧化物膜中的任一種或兩種以上，所述金屬膜為選自銅金屬膜和鉬金屬膜中的任一種以上。
11.一種金屬膜蝕刻方法，其包括利用權(quán)利要求1至10中任一項(xiàng)所述的金屬膜蝕刻組合物對(duì)金屬膜進(jìn)行蝕刻的步驟。
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