[發(fā)明專利]一種全石英差動式諧振壓力傳感器芯片有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910208085.5 | 申請日： | 2019-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN109883580B | 公開（公告）日： | 2020-11-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 趙玉龍;張全偉;李村;李波;韓超;葛曉慧 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安交通大學(xué) |
| 主分類號： | G01L1/10 | 分類號： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 西安智大知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 61215 | 代理人： | 賀建斌 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 石英 差動 諧振 壓力傳感器 芯片 | ||
1.一種全石英差動式諧振壓力傳感器芯片,包括T型推桿(5)，其特征在于：T型推桿(5)的末端通過柔性鉸鏈(4)和基底(6)連接，T型推桿(5)的末端兩側(cè)連接第一雙端固支音叉(1)、第二雙端固支音叉(2)，第一雙端固支音叉(1)和第二雙端固支音叉(2)組成差動工作單元；T型推桿(5)的側(cè)面基底(6)上設(shè)有第三雙端固支音叉(3)，第三雙端固支音叉(3)作為校正工作單元的參考單元，T型推桿(5)受力端連接至附屬的壓力敏感結(jié)構(gòu)；
所述的第一雙端固支音叉(1)、第二雙端固支音叉(2)、第三雙端固支音叉(3)、柔性鉸鏈(4)、T型推桿(5)和基底(6)為一體化石英晶體加工；
所述的T型推桿(5)的受力端位于基底(6)的一邊，T型推桿(5)采用了折型結(jié)構(gòu)，T型推桿(5)中部采用過渡結(jié)構(gòu)；
所述的第一雙端固支音叉(1)和第二雙端固支音叉(2)對稱的連接在T型推桿(5)末端的兩側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全石英差動式諧振壓力傳感器芯片,其特征在于：所述的第一雙端固支音叉(1)、第二雙端固支音叉(2)和第三雙端固支音叉(3)結(jié)構(gòu)完全相同，由石英音叉臂a和石英音叉臂b，以及與外部電路連接的焊盤c以及檢測電極d組成；石英音叉臂a和石英音叉臂b的表面四周設(shè)置有電極，電極之間相互電連接，用以石英音叉起振，在逆壓電效應(yīng)作用下，通交變電壓，石英音叉臂處于預(yù)設(shè)振動模態(tài)。
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