[發明專利]一種高純鋁旋轉靶焊接端頭的半自動校直方法

有效

• 申請號: 201910204328.8
• 申請日: 2019-03-18
• 公開（公告）號: CN109954766B
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 文宏福;伍溫良
• 申請（專利權）人: 東莞市歐萊濺射靶材有限公司;韶關市歐萊高新材料有限公司
• 主分類號: B21D3/00
• 分類號: B21D3/00;B21D37/16;B21C51/00
• 代理公司: 北京天盾知識產權代理有限公司 11421
• 代理人: 林曉宏

1.一種高純鋁旋轉靶焊接端頭的半自動校直方法，其特征在于：

1)、準備步驟，將高純鋁旋轉靶(02)吊移至校直設備，并放置于校直設備的機架(60)上，

其中，高純鋁旋轉靶(02)包括高純鋁靶材管(03)、鋁合金端頭(04)和鋁合金尾蓋(05)，鋁合金端頭(04)和鋁合金尾蓋(05)分別與高純鋁靶材管(03)的兩端焊接安裝，鋁合金端頭(04)與高純鋁靶材管(03)的連接處有一端頭焊接口，鋁合金端頭(04)端口外壁固定有一法蘭盤，法蘭盤與鋁合金端頭(04)同軸設置，

校直設備包括機架(60)、加熱裝置(61)、旋轉裝夾裝置(63)、固定承托裝置(80)、半自動校直裝置(70)和校直測量裝置(64)；

2)、固定步驟，將焊接有鋁合金尾蓋(05)的高純鋁旋轉靶(02)的一端同軸裝夾固定于校直設備的旋轉裝夾裝置(63)，焊接有鋁合金端頭(04)的高純鋁旋轉靶(02)的一端活動放置于固定承托裝置(80)，通過旋轉裝夾裝置(63)旋轉，使高純鋁旋轉靶(02)相對固定承托裝置(80)旋轉，

其中，半自動校直裝置(70)位于固定承托裝置(80)的外側，端頭焊接口位于固定承托裝置(80)與半自動校直裝置(70)之間，加熱裝置(61)位于端頭焊接口的上方；

3)、校直點確定步驟，包括以下子步驟，

3.1)、測量工具放置步驟，將校直測量裝置(64)的測量桿的最下端抵貼于鋁合金端頭(04)內壁的端口邊緣處，測量桿固定位于一位置點，通過將測量桿向下壓一定的距離從而在測量表上形成一對應的初始數值，同時測量桿也形成有一定的向下的測量行程，

其中，校直測量裝置(64)固定于校直設備的機架(60)上，校直測量裝置(64)設置有測量桿和測量表，測量桿與測量表連接，測量桿的位移變化反應于測量表的數值變化，

3.2)、校直點測量步驟，通過啟動旋轉裝夾裝置(63)使鋁合金端頭(04)旋轉，若鋁合金端頭(04)與高純鋁靶材管(03)不同軸，鋁合金端頭(04)在旋轉過程中發生偏轉，使抵頂于鋁合金端頭(04)端口邊緣處的測量桿發生上下移動，從而使測量表內的數值發生對應的變化，記錄測量表內的相對初始數值的變化幅度最大的最大值和/或最小值，

3.3)、校直點和校直值確定步驟，在記錄得到初始數值、相對初始數值的變化幅度最大的最大值和相對初始數值的變化幅度最大的最小值中的數值最小的為內校直點，內校直點與高純鋁靶材管(03)的軸線形成一校直面，內校直點對應的鋁合金端頭(04)端口的法蘭盤的外壁的點確定為外校直點，內校直點與外校直點均位于校直面內，通過旋轉裝夾裝置(63)旋轉高純鋁旋轉靶(02)使校直面旋轉至豎直，外校直點為校直面的最低位置，初始數值和相對初始數值的變化幅度最大的值中的最大值與內校直點的測量表對應數值的差的一半為校直值，將外校直點旋轉至高純鋁旋轉靶(02)的豎直方向的最低點，

3.4)、固定校直點步驟，將固定承托裝置(80)鎖定高純鋁旋轉靶(02)，使校直面保持豎直，外校直點在校直過程中保持在校直面的最低位置；

4)、校直加熱步驟，將加熱裝置(61)移動至端頭焊接口處，通過加熱裝置(61)將端頭焊接口的溫度加熱至150℃-300℃；

5)、半自動校直步驟，通過將抵頂部(71)上升頂推外校直點，使鋁合金端頭(04)沿徑向方向產生形變，從而將高純鋁靶材管(03)和鋁合金端頭(04)之間的直線度提高，將測量桿的最低點抵貼于內校直點，人工控制半自動校直裝置(70)使抵頂部(71)上升頂推外校直點，當測量表的增加數值等于校直值時，人工停止對半自動校直裝置(70)的操作，同時加熱裝置(61)停止對端頭焊接口加熱，高純鋁旋轉靶(02)冷卻至常溫，

其中，半自動校直裝置(70)包括控制器、電機、定量傳動桿和千斤頂，千斤頂包括抵頂部(71)、動力輸入端(72)和抵頂驅動部(73)，抵頂驅動部(73)與抵頂部(71)驅動連接，動力輸入端(72)與抵頂驅動部(73)連接，控制器電性連接電機，電機的輸出端連接定量傳動桿，定量傳動桿與動力輸入端(72)連接，通過電機帶動定量傳動桿轉動使動力輸入端(72)的動力輸入為定量輸入，從而使抵頂部(71)的頂推距離定量控制；

6)、校直檢驗步驟，當高純鋁旋轉靶(02)冷卻至常溫后，重復校直點確定步驟對安裝有鋁合金端頭(04)的高純鋁旋轉靶(02)的一端的直線度進行校直檢驗，若測量表所測的校直值≤0.3mm，則校直完成，若測量表所測的校直值＞0.3mm，則重復校直加熱步驟、半自動校直步驟和校直檢驗步驟，直至在校直檢驗步驟中，校直值≤0.3mm，則校直完成。