[發明專利]臺驅動裝置、光刻裝置和物品制造方法

有效

• 申請號: 201910203479.1
• 申請日: 2019-03-18
• 公開（公告）號: CN110275398B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 松井貴靖
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京怡豐知識產權代理有限公司 11293
• 代理人: 遲軍;李艷麗

1.一種臺驅動裝置，所述臺驅動裝置用于驅動臺，所述臺驅動裝置包括：

線性馬達，所述線性馬達包括定子和可移動元件，所述定子包括通過交替排列第一相線圈和第二相線圈獲得的線圈陣列，所述可移動元件設置在所述臺上；以及

控制單元，所述控制單元配置為通過控制所述線圈陣列的通電狀態來控制所述線性馬達，

其中，在所述臺停止在預定位置期間的停止時段中，所述控制單元通過接通所述線圈陣列之中的所述第一相線圈而將所述臺的位置保持在所述預定位置，并且通過接通所述線圈陣列之中布置在不對所述可移動元件給予推力位置處的所述第二相線圈而生成熱量，以使定子在停止時段中的熱生成接近于定子在移動時段中的熱生成。

2.根據權利要求1所述的臺驅動裝置，其中，所述預定位置是僅通過所述第一相線圈而不使用任何第二相線圈就能夠保持所述臺的位置的位置。

3.根據權利要求2所述的臺驅動裝置，其中，所述預定位置是僅通過所述線圈陣列之中的一個第一相線圈就能夠保持所述臺的位置的位置。

4.根據權利要求1所述的臺驅動裝置，其中，所述預定位置包括將物體傳送到所述臺上的位置和從所述臺回收物體的位置中的至少一者。

5.根據權利要求1所述的臺驅動裝置，其中，在所述停止時段中，所述控制單元將所述線圈陣列之中距所述可移動元件最遠的第二相線圈確定為要接通的第二相線圈。

6.根據權利要求1所述的臺驅動裝置，其中，在所述停止時段中，在布置在不對可移動元件給予推力位置處的多個第二相線圈存在的情況下，所述控制單元按時間切換所述多個第二相線圈之中要接通的第二相線圈。

7.根據權利要求1所述的臺驅動裝置，其中，所述控制單元確定在所述停止時段中要供應到所述第二相線圈的電流值，以使所述第二相線圈的熱生成接近于所述定子在移動所述臺期間的移動時段中的熱生成。

8.根據權利要求1所述的臺驅動裝置，其中，

所述控制單元包括第一模式和第二模式作為所述線性馬達的控制模式，

所述第一模式是用于通過接通所述第一相線圈來保持所述臺的位置并通過接通布置在不對所述可移動元件給予推力位置處的所述第二相線圈來生成熱量的模式，并且

所述第二模式是用于通過切換所述線圈陣列之中要接通以對所述可移動元件給予推力的所述第一相線圈和所述第二相線圈對來控制所述臺的位置的模式。

9.根據權利要求8所述的臺驅動裝置，其中，所述控制單元在供應到所述第二相線圈的電流被中斷的狀態下，切換所述第一模式和所述第二模式。

10.根據權利要求1所述的臺驅動裝置，其中，要供應到所述第一相線圈的電流與要供應到所述第二相線圈的電流具有90°的相位角差。

11.一種光刻裝置，所述光刻裝置用于在基板上形成圖案，所述光刻裝置包括：

臺，所述臺配置為保持所述基板；以及

臺驅動裝置，所述臺驅動裝置配置為驅動所述臺，

其中，所述臺驅動裝置包括：

線性馬達，所述線性馬達包括定子和可移動元件，所述定子包括通過交替排列第一相線圈和第二相線圈獲得的線圈陣列，所述可移動元件設置在所述臺上；以及

控制單元，所述控制單元配置為通過控制所述線圈陣列的通電狀態來控制所述線性馬達，并且

其中，在所述臺停止在預定位置期間的停止時段中，所述控制單元通過接通所述線圈陣列之中的所述第一相線圈而將所述臺的位置保持在所述預定位置，并且通過接通所述線圈陣列之中布置在不對所述可移動元件給予推力位置處的所述第二相線圈而生成熱量，以使定子在停止時段中的熱生成接近于定子在移動時段中的熱生成。

12.一種物品制造方法，所述物品制造方法包括：

使用光刻裝置在基板上形成圖案；

處理已在上面形成圖案的基板以制造物品，

其中，所述光刻裝置包括：

臺，所述臺配置為保持所述基板；以及

臺驅動裝置，所述臺驅動裝置配置為驅動所述臺，

其中，所述臺驅動裝置包括：

線性馬達，所述線性馬達包括定子和可移動元件，所述定子包括通過交替排列第一相線圈和第二相線圈獲得的線圈陣列，所述可移動元件設置在所述臺上；以及

控制單元，所述控制單元配置為通過控制所述線圈陣列的通電狀態來控制所述線性馬達，并且

其中，在所述臺停止在預定位置期間的停止時段中，所述控制單元通過接通所述線圈陣列之中的所述第一相線圈而將所述臺的位置保持在所述預定位置，并且通過接通所述線圈陣列之中布置在不對所述可移動元件給予推力位置處的所述第二相線圈而生成熱量，以使定子在停止時段中的熱生成接近于定子在移動時段中的熱生成。