[發明專利]同軸磁控管諧振腔結構及其制作方法

在審

• 申請號: 201910197527.0
• 申請日: 2019-03-15
• 公開（公告）號: CN110021510A
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 吳云龍;余才;王芮;王冰冰;李銳;王彭康;盧希躍;趙艷珩;候信磊;曹振玲
• 申請（專利權）人: 安徽華東光電技術研究所有限公司
• 主分類號: H01J23/20
• 分類號: H01J23/20;H01J9/00
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司 11283
• 代理人: 周錕

1.一種同軸磁控管諧振腔結構，其特征在于，所述同軸磁控管諧振腔結構包括：內腔(2)、外腔(3)和調諧盤(4)；所述內腔(2)、所述外腔(3)以及陰極(1)同軸設置，所述內腔(2)上開有耦合縫(10)與所述外腔(3)相連通，所述外腔(3)的端部設置有調諧盤(4)對信號頻率進行調諧，所述外腔(3)上設置有輸出窗(5)，用于輸出微波信號。

2.根據權利要求1所述的同軸磁控管諧振腔結構，其特征在于，所述同軸磁控管諧振腔結構還包括：第一磁極靴(6)、第二磁極靴(7)、第一端部蓋板(8)和第二端部蓋板(9)；所述第一磁極靴(6)和所述第一端部蓋板(8)釬焊密封后與所述調諧盤(4)釬焊密封組成第一部件；所述內腔(2)和所述第二磁極靴(7)釬焊后與所述第二端部蓋板(9)釬焊密封組成第二部件，所述第一部件和所述第二部件均與所述外腔(3)氬弧焊密封連接組成諧振腔。

3.根據權利要求2所述的同軸磁控管諧振腔結構，其特征在于，所述諧振腔內部設置為真空。

4.根據權利要求3所述的同軸磁控管諧振腔結構，其特征在于，所述諧振腔內部的真空度達到10^-6～10^-7pa。

5.根據權利要求2所述的同軸磁控管諧振腔結構，其特征在于，所述調諧盤(4)在所述外腔(3)內能夠沿著豎直方向滑動調節，以改變所述外腔(3)的大小；且所述調諧盤(4)通過波紋管密封連接。

6.根據權利要求1所述的同軸磁控管諧振腔結構，其特征在于，所述輸出窗(5)和磁控管的引線都是陶瓷或玻璃材質。

7.一種根據上述權利要求1-6所述的同軸磁控管諧振腔的制作方法；其特征在于，所述方法包括：

步驟1，將所述第一磁極靴(6)和所述第一端部蓋板(8)釬焊密封；

步驟2，將步驟1焊接密封后的組件再和所述調諧盤(4)釬焊密封；

步驟3，將所述內腔(2)和所述第二磁極靴(7)釬焊；

步驟4，將步驟3焊接后的組件再與所述第二端部蓋板(9)釬焊密封；

步驟5，將步驟2焊接后的組件與步驟4焊接后的組件均與所述外腔(3)氬弧焊密封連接組成諧振腔。