[發明專利]光調制器

在審

• 申請號: 201910197250.1
• 申請日: 2019-03-15
• 公開（公告）號: CN110320683A
• 公開（公告）日: 2019-10-11
• 發明（設計）人: 大石健太;宮崎德一
• 申請（專利權）人: 住友大阪水泥股份有限公司
• 主分類號: G02F1/035
• 分類號: G02F1/035;G02F1/03;G02F1/00
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 季瑩;方應星

本發明提供一種光調制器，其能夠在抑制在光波導中傳播的光波被電極吸收的情況的同時，有效地進行光控制。一種光調制器，具有：基板(1)，具有電光效應；光波導(2)，形成于該基板；以及信號電極(30)和接地電極(40)，以夾著該光波導的方式形成在該基板上，其特征在于，該信號電極及該接地電極分別具有多層的電極層，在最靠近該基板的第一層的電極層中，該信號電極與該接地電極之間的間隔比該光波導的模場直徑大，在第二層以后的至少任一電極層中，該信號電極與該接地電極之間的間隔比所述第一層的電極層中的所述間隔窄。

技術領域

本發明涉及一種光調制器，具有：基板，具有電光效應；光波導，形成于該基板；以及信號電極和接地電極，以夾著該光波導的方式形成在該基板上。

背景技術

在光通信等領域中，利用對輸入的光波實施調制而輸出的光調制器。關于光調制器的概略性的構造，參照圖1進行說明。

圖1A是表示光調制器的概略結構的俯視圖，圖1B是圖1A的A-A線的剖視圖。如這些圖所示，光調制器具有：基板1，具有電光效應；光波導2，形成于基板1；以及控制用電極，用于控制在光波導2中傳播的光波。此外，圖1C示出圖1A中的基板的厚度薄(10μm以下)時的A-A線的剖視圖。

光波導2成為包含具有馬赫-曾德爾干涉計結構的馬赫-曾德爾型波導的結構。控制用電極由在馬赫-曾德爾型波導的各支路部之間配置的信號電極3和在各支路部的外側分別配置的接地電極4構成。光調制器利用通過向信號電極3施加控制信號(例如，高頻信號)而產生的電場，控制在光波導2中傳播的光波。在基板1的厚度薄的情況下，如圖1C所示，基板1經由粘接層5而粘貼于加強基板6。作為加強基板，使用例如LN基板。

以往，為了實現光調制器的特性的改善或高速的傳送速度等而提出了各種發明。例如，專利文獻1涉及一種光調制器，具有：基板，具有電光效應；光波導，形成于該基板的；以及控制用電極，對應于該光波導而形成在該基板上，并公開了控制用電極沿厚度方向形成為多層的結構。

在使用沿基板截面的橫向上具有強的電光效應的材料，例如X板的LN基板的情況下，為了高效地進行光控制，希望在光波導的附近配置信號電極和接地電極，縮窄信號電極與接地電極之間的間隔。然而，當電極與光波導過于靠近時(或重疊時)，產生在光波導中傳播的光波被電極吸收而引起的光損失。因此，通過形成緩沖層(例如，0.5～1.5μm的SiO₂膜)，來避免光損失的發生。然而，當形成緩沖層時，電場效率下降，因此需要延長電極長度(作用長度)等，在光調制器的小型化、寬頻帶化的設計中會帶來障礙。因此，關于在光調制器的基板形成的電極的結構，要求進一步的改善。

【在先技術文獻】

【專利文獻】

專利文獻1：日本特開平8-271844號公報

發明內容

【發明要解決的課題】

本發明要解決的課題在于提供一種解決上述那樣的問題，能夠在抑制在光波導中傳播的光波被電極吸收的情況的同時，有效地進行光控制的光調制器。

【用于解決課題的方案】

為了解決上述課題，本發明的光調制器具有以下那樣的技術特征。

(1)一種光調制器，具有：基板，具有電光效應；光波導，形成于該基板；以及信號電極和接地電極，以夾著該光波導的方式形成在該基板上，其特征在于，該信號電極及該接地電極分別具有多層的電極層，在最靠近該基板的第一層的電極層中，該信號電極與該接地電極的間隔比該光波導的模場直徑大，在第二層以后的至少任一電極層中，該信號電極與該接地電極的間隔比所述第一層的電極層中的所述間隔窄。

(2)根據上述(1)所述的光調制器，其特征在于，該信號電極及該接地電極中，所述第一層的電極層由第一金屬形成，所述第二層以后的至少任一電極層由與該第一金屬不同的第二金屬形成。