[發明專利]一種超高真空除氣及充氣的裝置

有效

• 申請號: 201910194866.3
• 申請日: 2019-03-14
• 公開（公告）號: CN109915346B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發明（設計）人: 司媛媛;劉純;付憲陽;孟大偉
• 申請（專利權）人: 北京哲勤科技有限公司
• 主分類號: F04B41/06
• 分類號: F04B41/06;F04B49/06
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種超高真空除氣及充氣的裝置，包括機架，所述機架上端、下端和側部分別固設托板、底板和側板，所述機架下端固設有一體化腳輪，其特征在于，還包括加熱系統、抽真空系統、充氣系統和控制系統；

所述加熱系統包括所述托板上方均勻設置的四個加熱罩，每個所述加熱罩安裝有帶動其升降的升降機構；

所述抽真空系統包括所述底板中部固設的離子泵，所述離子泵的上方連接豎直主管，所述主管的頂端與盲板密封連接，所述主管與所述離子泵之間固設有第一閥，所述主管的上部沿其徑向固連有均勻分布的四對水平第一支路管，每對所述第一支路管與相應的所述側板對應，每個所述第一支路管的另一端固連直角截止閥，每個所述直角截止閥安裝有控制其開合的開關機構， 每個所述直角截止閥與豎直的輔管固連，每個所述輔管向上穿設所述托板并對應相應的加熱罩；

所述開關機構包括第一萬向節頭和第二萬向節頭，所述第一萬向節頭的一端固連卡套，其另一端與軸桿固連,所述卡套與所述直角截止閥的閥桿卡接； 所述第二萬向節頭的一端固連與所述軸桿相應的軸套，其另一端與垂直穿設所述側板的轉動桿固連，所述轉動桿的另一端還固連手輪；所述軸套的內側壁上設有沿其軸線方向的長條狀凹槽，所述軸桿上設有與所述凹槽相適配的長條狀凸條，所述軸桿套設在所述軸套內，所述軸桿可沿所述軸套的軸線方向滑動；

所述主管上沿其徑向連接水平的第二支路管,所述第二支路管連接第二閥,所述第二閥的另一端連接分子泵；

所述主管上沿其徑向連接水平的第三支路管，所述第三支路管分別連接第三閥、第四閥；

所述離子泵一側設有固連在所述底板的渦旋泵，所述渦旋泵的進口與所述第三閥連接，所述渦旋泵的進口還連接第五閥，所述第五閥的另一端與所述分子泵的出口連接；

所述充氣系統包括氣瓶，所述氣瓶通過管路與所述第四閥連接；

所述控制系統包括PLC，所述PLC分別與電源、顯示屏、升降機構、第一閥、第二閥、第三閥、第四閥、第五閥、離子泵、分子泵和渦旋泵電性連接。

2.如權利要求1所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，所述主管上連接有薄膜規和電離規。

3.如權利要求1所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，所述主管上沿其徑向連接水平的第四支路管，所述第四支路管連接第六閥，所述第六閥的另一端連接吸氣劑泵。

4.如權利要求1所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，所述第三支路管上還設有氦質譜分析器。

5.如權利要求1所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，靠近所述氣瓶一側的管路上設有手動截止閥。

6.如權利要求1所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，所述第三支路管上并接三個第四閥，每個所述第四閥依次與手動截止閥和氣瓶連接。

7.如權利要求6所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，所述手動截止閥與第四閥之間的管路上設有液氮冷阱。

8.如權利要求1所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，所述第一閥、第二閥、第三閥、第四閥、第五閥均為電氣動全金屬密封截止閥。

9.如權利要求1所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，每對所述第一支路管上下交錯分布。

10.如權利要求1所述的超高真空除氣及充氣的裝置，其特征在于，所述側板上固設有軸承座，所述軸承座內設有與所述轉動桿套接的圓柱滾子軸承，所述轉動桿還套接平面滾柱軸承，所述平面滾柱軸承分別與軸承座和手輪相抵靠。