[發(fā)明專利]一種離子植入機(jī)旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201910190627.0
• 申請(qǐng)日: 2019-03-13
• 公開（公告）號(hào): CN109920714A
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉鵬成
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 無(wú)錫際盟信息科技有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/317
• 分類號(hào): H01J37/317;H01J37/304
• 代理公司: 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11616
• 代理人: 許羽冬

本發(fā)明公開了一種離子植入機(jī)旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控系統(tǒng)，包括高真空腔體部分與大氣部分，所述高真空腔體部分的下端設(shè)置有大氣部分，所述高真空腔體部分與大氣部分通過(guò)套接連接，所述大氣部分的下端設(shè)置有原機(jī)臺(tái)柔性電纜，本發(fā)明一種離子植入機(jī)旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控系統(tǒng)利用一個(gè)軟件硬件結(jié)合的系統(tǒng)來(lái)對(duì)最后的旋轉(zhuǎn)吸盤的傳動(dòng)齒輪進(jìn)行檢測(cè)并得到數(shù)據(jù)傳輸給計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，系統(tǒng)利用SPC軟件來(lái)根據(jù)不同的旋轉(zhuǎn)角度設(shè)置不同的限制，一旦超過(guò)范圍則軟件將給信號(hào)主機(jī)臺(tái)產(chǎn)生報(bào)警，然后工程師根據(jù)報(bào)警去排查并解決問(wèn)題，解決了離子植入機(jī)旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控中的ROPLAT旋轉(zhuǎn)角度無(wú)法在線實(shí)時(shí)監(jiān)控，避免了由于沒有實(shí)時(shí)檢測(cè)導(dǎo)致的大批晶圓報(bào)廢的問(wèn)題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種離子植入機(jī)(APPLY/VARIAN E220/500系列離子注入機(jī))Roplat旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控系統(tǒng)。

背景技術(shù)

離子植入機(jī)用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)，是晶圓生產(chǎn)的關(guān)鍵機(jī)臺(tái)。ROPLAT部件則是負(fù)責(zé)四象限注入的運(yùn)動(dòng)部件，四象限注入也是芯片生產(chǎn)過(guò)程中的關(guān)鍵工藝，晶圓在傳輸?shù)届o電吸盤上后由ROPLAT部件帶動(dòng)吸盤轉(zhuǎn)動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)四個(gè)象限的角度注入。

現(xiàn)有的APPLY/VARIAN E220/500系列離子注入機(jī)Roplat旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控技術(shù)存在以下問(wèn)題：由于ROPLAT部件位于真空腔體內(nèi)并且附近部件多且精密，旋轉(zhuǎn)的角度要求精密，但是由于這個(gè)位置反饋位于電機(jī)端，而從電機(jī)到最后的轉(zhuǎn)動(dòng)吸盤中間還有很多連接部件，一旦這中間任何一個(gè)部件出現(xiàn)問(wèn)題，或者編碼器缺相等就會(huì)造成吸盤實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)位置變化且機(jī)臺(tái)沒有實(shí)時(shí)檢測(cè)，也不會(huì)發(fā)出報(bào)警的現(xiàn)象的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種離子植入機(jī)旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有的離子植入機(jī)旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控中的ROPLAT旋轉(zhuǎn)角度無(wú)法在線實(shí)時(shí)監(jiān)控的難題，避免了由于沒有實(shí)時(shí)檢測(cè)導(dǎo)致的大批晶圓報(bào)廢的問(wèn)題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種離子植入機(jī)旋轉(zhuǎn)角度監(jiān)控系統(tǒng)，包括高真空腔體部分與大氣部分，所述高真空腔體部分的下端設(shè)置有大氣部分，所述高真空腔體部分與大氣部分通過(guò)套接連接，所述大氣部分的下端設(shè)置有原機(jī)臺(tái)柔性電纜，所述原機(jī)臺(tái)柔性電纜的右端設(shè)置有連接機(jī)臺(tái)原控制器，所述連接機(jī)臺(tái)原控制器的右端設(shè)置有新增傳感器連線，所述新增傳感器連線的上端設(shè)置有電機(jī)反饋控制線，所述電機(jī)反饋控制線的上端設(shè)置有控制接口，所述控制接口的上端設(shè)置有控制器，所述控制器的左端的外側(cè)表端設(shè)置有功能選擇開關(guān)，所述功能選擇開關(guān)的右端設(shè)置有電源插座，所述電源插座的下端設(shè)置有通訊插頭，所述控制器的右端設(shè)置有工業(yè)控制主機(jī)，所述控制器與工業(yè)控制主機(jī)通過(guò)電性連接，所述工業(yè)控制主機(jī)的下端設(shè)置有鼠標(biāo)，所述鼠標(biāo)與工業(yè)控制主機(jī)通過(guò)電性連接，所述工業(yè)控制主機(jī)的下端設(shè)置有鍵盤，所述工業(yè)控制主機(jī)的上端設(shè)置有顯示器，所述顯示器與工業(yè)控制主機(jī)通過(guò)電性連接。

優(yōu)選的，所述顯示器為十八點(diǎn)五英寸液晶屏，分辨率1366乘768，所述顯示器的尺寸為寬度為四十四厘米并且高度為三十四厘米。

優(yōu)選的，所述新增傳感器連線共設(shè)置有兩根，兩根所述新增傳感器連線分別呈對(duì)稱設(shè)置在連接機(jī)臺(tái)原控制器的右端，兩根所述新增傳感器連線的外部殼體采用PP環(huán)保材料制成的，并采用工業(yè)高柔拖鏈屏蔽信號(hào)線。

優(yōu)選的，所述控制器為矩形體結(jié)構(gòu)，所述控制器的尺寸為長(zhǎng)度為二十六厘米、寬度為十五厘米并且高度為八厘米。

優(yōu)選的，所述功能選擇開關(guān)為撥扭圓柱體結(jié)構(gòu)，所述功能選擇開關(guān)的尺寸為最大直徑為六毫米，所述功能選擇開關(guān)與電源開關(guān)電性連接。

優(yōu)選的，所述原機(jī)臺(tái)柔性電纜得外部殼體的材料是采用PP環(huán)保材料制成的，所述原機(jī)臺(tái)柔性電纜共設(shè)置有三組，三組所述原機(jī)臺(tái)柔性電纜的截面直徑為四十毫米。

優(yōu)選的，所述鍵盤采用有線連接，所述鍵盤與工業(yè)控制主機(jī)通過(guò)電性連接，所述鍵盤與顯示器通過(guò)電性連接。