[發(fā)明專利]壓電元件以及液體噴出頭有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910183903.0 | 申請日： | 2019-03-12 |
| 公開（公告）號： | CN110271287B | 公開（公告）日： | 2020-09-29 |
| 發(fā)明（設計）人： | 兩角浩一;宮澤弘;清水稔弘;朝岡一郎 | 申請（專利權）人： | 精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | B41J2/14 | 分類號： | B41J2/14;H01L41/047;H01L41/083;H01L41/187 |
| 代理公司： | 北京金信知識產(chǎn)權代理有限公司 11225 | 代理人： | 蘇萌萌;權太白 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓電 元件 以及 液體 噴出 | ||
【權利要求書】：
1.一種壓電元件，具備：
第一電極，其被設置在基體的上方；
取向控制層，其含有鈦，并且被設置在所述第一電極的上方；
壓電體層，其具有鈣鈦礦型的結(jié)晶結(jié)構，并且被設置在所述取向控制層的上方；
第二電極，其被設置在所述壓電體層的上方；
其他壓電體層，其具有鈣鈦礦型的結(jié)晶結(jié)構，并且被設置在所述第一電極與所述取向控制層之間，
所述取向控制層的厚度在5.0nm以上且22.0nm以下。
2.如權利要求1所述的壓電元件，其中，
所述取向控制層的厚度在6.85nm以上且21.5nm以下。
3.如權利要求1或權利要求2所述的壓電元件，其中，
所述壓電體層、所述取向控制層以及所述其他壓電體層的厚度的合計在1.0μm以下。
4.如權利要求1或權利要求2所述的壓電元件，其中，
所述第一電極的厚度在50nm以上且140nm以下。
5.如權利要求1或權利要求2所述的壓電元件，其中，
所述取向控制層含有鉛以及鈦。
6.如權利要求1或權利要求2所述的壓電元件，其中，
所述第二電極為，與其他壓電元件共用的共用電極。
7.一種液體噴出頭，包括，
權利要求1至權利要求6中的任意一項所述的壓電元件。
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