[發明專利]密封構件更換型閘閥系統、密封板及密封板用料盒

有效

• 申請號: 201910181430.0
• 申請日: 2019-03-11
• 公開（公告）號: CN110242758B
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 崔大圭
• 申請（專利權）人: (株）NP控股
• 主分類號: F16K3/02
• 分類號: F16K3/02
• 代理公司: 北京三聚陽光知識產權代理有限公司 11250
• 代理人: 秦杰

本發明涉及一種能夠在真空環境下更換密封構件的密封構件更換型閘閥系統、密封板及密封板用料盒，可包括：閥體，能夠開閉腔室的通道；以及密封構件更換裝置，利用至少一個以上密封構件或者設置有密封構件的密封板，即使在真空環境下也能夠更換所述密封構件或者所述密封板，所述密封構件使用時，能夠緊固到所述閥體，不使用時，能夠以從所述閥體分離的狀態在待機容納部進行待機。

技術領域

本發明涉及一種密封構件更換型閘閥系統、密封板及密封板用料盒，更詳細而言，涉及一種能夠在真空環境下更換密封構件的密封構件更換型閘閥系統、密封板及密封板用料盒。

背景技術

通常，腔室是用于制造要求真空或者高潔凈作業環境的半導體芯片、晶圓、LCD面板、OLED面板等尖端半導體裝置或顯示裝置或者其他醫療設備的工業設備設施，是如下裝置：設置在這種腔室的閘閥作為腔室的進出口發揮作用，打開入口將半導體芯片或晶圓等移動至腔室空間內，再次關閉入口使腔室內維持氣密狀態的裝置。

這種現有閘閥的基本結構，如韓國專利授權第10-1252665號所記載，在閥殼內部安裝用于開閉腔室通道的入口即閥體，所述閥體是通過驅動缸或致動器的驅動升降移動，從而能夠選擇性地開閉閥殼的通道的結構。

發明內容

技術問題

上述的現有的閘閥因形成于閥體的O型環等密封構件由于其材質特性弱，可能容易損壞，而且，暴露在高溫、高壓、工藝氣體環境等所述腔室內部的嚴酷工序環境下，可能更容易腐蝕或損耗。

因此，以往為了更換閘閥中老化的密封構件，必須將腔室或閥殼內部的真空環境轉換為大氣環境之后，進行作業人員手動打開閥殼的蓋，用手更換在所述閥體中的老化密封構件的更換作業。

然而，這種現有的依賴手動作業的密封構件更換作業存在如下諸多問題：打破所述腔室或者閥殼內部好不容易形成的真空環境，不僅中斷工序進展，為了再次形成真空壓力耗費大量時間等，導致大幅降低生產效率，且還存在所述腔室的內部和所述閥體暴露在外部空氣中，可能被各種雜質污染等問題。

本發明旨在于為了解決這些問題點，提供密封構件更換型閘閥系統、密封板及密封板用料盒，其在內部更換老化的老化密封構件或者老化密封板，而能夠始終使用全新密封構件或者全新密封板，利用料盒能夠一次性裝載及卸載多個密封構件或者密封板，即使在真空環境下也能夠裝載及卸載密封構件或者密封板，從而最大限度地降低密封構件更換時間，能夠大幅提高生產效率，能夠防止來自外部的污染。

然而，這些課題是例示性的，并非由此限定本發明的范圍。

技術方案

用于解決所述課題的根據本發明的密封構件更換型閘閥系統可包括：閥體，能夠開閉腔室的通道；以及密封構件更換裝置，利用至少一個以上的密封構件或者設置有密封構件的密封板，即使在真空環境下也能夠更換所述密封構件或者所述密封板，所述密封構件使用時，能夠緊固到所述閥體，不使用時，能夠以從所述閥體分離的狀態在待機容納部進行待機。

另外，根據本發明，所述待機容納部可形成于閥殼的內部，與整齊地裝有至少一個以上的所述密封構件或者所述密封板的料盒相對應地形成，所述閥殼形成為包圍所述閥體的形狀。

另外，根據本發明，所述料盒可以為第一料盒，所述第一料盒用于容納將緊固到所述閥體的全新密封構件或者全新密封板。

另外，根據本發明，所述料盒可以為第二料盒，所述第二料盒用于容納從所述閥體分離的老化密封構件或者老化密封板。

另外，根據本發明，所述料盒可包括：第一料盒，用于容納將緊固到所述閥體的全新密封構件或者全新密封板；以及第二料盒，用于容納從所述閥體分離的老化密封構件或者老化密封板。