[發明專利]超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置

在審

• 申請號: 201910180900.1
• 申請日: 2019-03-11
• 公開（公告）號: CN109676423A
• 公開（公告）日: 2019-04-26
• 發明（設計）人: 周春強;吳小華;張一博;盧詩毅;劉強;李克天;曾建軍;張平
• 申請（專利權）人: 佛山通達智能科技有限公司
• 主分類號: B23Q5/28
• 分類號: B23Q5/28
• 代理公司: 佛山市海融科創知識產權代理事務所(普通合伙) 44377
• 代理人: 陳志超;黃家豪

1.一種超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，包括：外殼組件、氣浮導軌組件、第一音圈電機、第二音圈電機以及刀頭組件；

所述氣浮導軌組件可前后滑動地設置于所述外殼組件內部；

所述第一音圈電機包括第一動子和第一定子，所述第一定子固定插接在所述氣浮導軌組件的尾端，所述第一動子的一端插接在所述第一定子中，所述第一動子的另一端與所述外殼組件固定連接；

所述第二音圈電機包括第二動子和第二定子，所述第二定子固定插接在所述氣浮導軌組件的首端，所述第二動子的一端插接在所述第二定子中，所述第二動子的另一端與所述刀頭組件固定連接。

2.根據權利要求1所述的超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，所述第一音圈電機的行程大于所述第二音圈電機的行程，所述第一音圈電機的響應速度小于所述第二音圈電機的響應速度。

3.根據權利要求1或2所述的超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，還包括控制組件、第一電容傳感器、第二電容傳感器、光柵尺以及光柵尺讀數頭；

所述第一電容傳感器設置于所述外殼組件內的尾端，所述第二電容傳感器設置于所述外殼組件內的首端，所述光柵尺設置于所述外殼組件的內側壁上，所述光柵尺讀數頭設置于所述氣浮導軌組件上；

所述控制組件分別與所述第一電容傳感器、所述第二電容傳感器、所述光柵尺讀數頭、所述第一音圈電機以及所述第二音圈電機電連接。

4.根據權利要求3所述的超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，所述外殼組件包括外殼以及設置于所述外殼的內側壁上的多孔制氣浮板機構；所述多孔制氣浮板機構用于產生支撐所述氣浮導軌組件的氣膜。

5.根據權利要求4所述的超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，所述多孔制氣浮板機構包括呈長方體箱狀的內殼以及設置于所述內殼的四個內側壁面上的多個多孔制氣浮板；所述內殼的四個內側壁面上的多孔制氣浮板的數量相同，且任意相對的兩個內側壁面上的多孔制氣浮板相互正對。

6.根據權利要求5所述的超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，所述多孔制氣浮板為多孔制石墨板。

7.根據權利要求1所述的超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，所述刀頭組件包括氣浮刀座以及刀頭，所述氣浮刀座的一端與所述第二動子的遠離所述第一動子的一端固定連接，所述刀頭與所述氣浮刀座的另一端連接；

所述氣浮刀座用于在所述第二動子的側壁與所述第二定子的側壁之間形成氣膜。

8.根據權利要求7所述的超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，所述第二定子的朝向所述刀頭的一端開設有一環狀的凹槽，所述第二動子插設在所述凹槽中，所述第二動子的側壁與所述凹槽的內壁之間具有環狀的間隙，所述氣浮刀座用于在所述間隙里形成所述氣膜。

9.根據權利要求8所述的超精密高頻響雙行程快刀伺服加工裝置，其特征在于，所述氣浮刀座呈圓形餅狀，且所述氣浮刀座的直徑大于所述第二動子的直徑。