[發明專利]一種熒光成像膜厚測量系統的標定裝置及方法

有效

• 申請號: 201910169426.2
• 申請日: 2019-03-06
• 公開（公告）號: CN109916317B
• 公開（公告）日: 2023-09-19
• 發明（設計）人: 歐陽武;汪盛通;王斌;梁興鑫;嚴新平
• 申請（專利權）人: 武漢理工大學
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 湖北武漢永嘉專利代理有限公司 42102
• 代理人: 劉秋芳

1.一種熒光成像膜厚測量系統的標定裝置，其特征在于：包括試驗臺架，在試驗臺架上設有實驗水池和安設在實驗水池處的螺距頭，在實驗水池的上端或下端設有玻璃板，所述螺距頭通過調距螺桿連接有實驗板，所述實驗板安設在試驗水池內與玻璃板相對并平行設置，在試驗臺架上位于實驗水池的兩側對稱設有可調節的光源，在實驗水池的上方或下方設有拍照設備，螺距頭通過調距螺桿對實驗板與玻璃板之間的距離，通過光源和拍照設備的工作對其進行采樣。

2.根據權利要求1所述的熒光成像膜厚測量系統的標定裝置，其特征在于：在實驗臺架上設有定位件，所述螺距頭通過定位件定位實驗水池。

3.根據權利要求1或2所述的熒光成像膜厚測量系統的標定裝置，其特征在于：所述螺距頭安設在實驗水池的上方，拍照設備安設在實驗水池的下方。

4.根據權利要求1或2所述的熒光成像膜厚測量系統的標定裝置，其特征在于：所述螺距頭安設在實驗水池的下方，拍照設備安設在實驗水池的上方，所述調距螺桿的下端通過密封機構與試驗水池密封后與螺距頭相連。

5.根據權利要求4所述的熒光成像膜厚測量系統的標定裝置，其特征在于：在實驗水池上還配置有與外界連通的連通器。

6.根據權利要求1或2所述的熒光成像膜厚測量系統的標定裝置，其特征在于：在實驗臺架的下端連接有可調支腳。

7.根據權利要求2所述的熒光成像膜厚測量系統的標定裝置，其特征在于：實驗水池整體嵌在定位槽中，并通過強力膠進行粘接。

8.根據權利按要求1-7所述的一種熒光成像膜厚測量系統的標定裝置的標定方法，其特征在于：包括如下步驟：

S1、在對實驗板的材料和實驗水池中的熒光液體種類進行確定后；

S2、通過調節螺距頭使實驗板與玻璃板接觸，將螺距頭調零；

S3、將螺距頭調節，使實驗板與玻璃板隔開一段距離，調節光源的角度及拍照設備，使拍照設備中的圖像亮度均勻且清晰；

S4、將螺距頭調節，使得實驗板與玻璃板相接觸，此時拍照設備觀測的部分即為零膜厚；

S5、調節螺距頭進行距離控制，螺距頭的顯示的距離即為膜厚，拍照設備拍攝下該膜厚對應的亮度值，此亮度值即為本次膜厚的標定值；

S6、依次調節螺距頭的設定距離，可完成其余數值膜厚的全部標定。

9.根據權利要求8所述的熒光成像膜厚測量系統的標定方法，其特征在于：拍照設備需要加轉特定波長的鏡頭進行過濾，從而保證亮度的確定性。

10.根據權利要求8所述的熒光成像膜厚測量系統的標定方法，其特征在于：實驗水池可采用不同特定配比的液體，保證在光源的的激發下產生于拍照設備鏡頭有同樣波長的光產生，從而得到不同的亮度標準。