[發(fā)明專利]一種基于有機小分子薄膜晶體管的環(huán)境氣體檢測方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910168930.0 | 申請日: | 2019-03-06 |
| 公開(公告)號: | CN109946338A | 公開(公告)日: | 2019-06-28 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陸旭兵;麥嘉盈 | 申請(專利權(quán))人: | 肇慶市華師大光電產(chǎn)業(yè)研究院 |
| 主分類號: | G01N27/00 | 分類號: | G01N27/00 |
| 代理公司: | 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 44102 | 代理人: | 任重 |
| 地址: | 526040 廣東省肇慶市*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 標(biāo)準(zhǔn)曲線 閾值電壓 遷移率 晶體管 傳輸特性曲線 環(huán)境氣體檢測 有機小分子薄膜 檢測 氣氛環(huán)境 半導(dǎo)體薄膜晶體管 驗證 器件穩(wěn)定性 有機小分子 環(huán)境氛圍 環(huán)境氣氛 飽和區(qū) 靈敏性 準(zhǔn)確率 | ||
本發(fā)明公開了一種基于有機小分子薄膜晶體管的環(huán)境氣體檢測方法。所述方法包括如下步驟:將晶體管依次置于一系列不同氣氛環(huán)境中測得傳輸特性曲線,根據(jù)該傳輸特性曲線計算得到遷移率?氛圍標(biāo)準(zhǔn)曲線、閾值電壓?氛圍標(biāo)準(zhǔn)曲線;將有機小分子半導(dǎo)體薄膜晶體管置于待測環(huán)境中,測得其飽和區(qū)的傳輸特性曲線,計算得到遷移率μsat和閾值電壓VTH,將μsat、VTH代入上述遷移率?氛圍標(biāo)準(zhǔn)曲線和閾值電壓?氛圍標(biāo)準(zhǔn)曲線,共同驗證,即可得到待測環(huán)境氛圍。本發(fā)明的環(huán)境氣體檢測方法采用C8?BTBT作為檢測原件,晶體管對環(huán)境氣氛具有高度靈敏性,根據(jù)遷移率和閾值電壓進行檢測和驗證,極大地提高檢測的準(zhǔn)確率和精確度,可以實現(xiàn)多種氣氛環(huán)境的檢測,器件穩(wěn)定性更高。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及有機電子器件檢測技術(shù)領(lǐng)域,更具體地,涉及一種基于有機小分子薄膜晶體管的環(huán)境氣體檢測方法。
背景技術(shù)
對于一些特定的物質(zhì),需要保存在特定的環(huán)境,同時對于某些工業(yè)場所,氣體的氣密性對安全有重大影響,那么對于環(huán)境氣氛的監(jiān)控和檢測就變得尤為重要。現(xiàn)有的環(huán)境氣氛檢測方式有半導(dǎo)體式、燃燒式、熱導(dǎo)池式、電化學(xué)式、紅外線式,但大多在制備工藝上來說穩(wěn)定性較差,受環(huán)境影響較大,可應(yīng)用范圍較窄,限制因素較多,壽命有限且部分價格較高,且制備工序復(fù)雜繁瑣,不利于節(jié)約成本,提高社會效率。有機薄膜晶體管(OTFTs)在未來顯示、傳感、射頻、存儲等器件,尤其是在柔性電子器件中有著廣泛的應(yīng)用前景。但目前利用有機薄膜晶體管的研究及測試條件都在真空條件下,對材料和設(shè)備的要求較高,研究過程復(fù)雜且成本高。C8-BTBT(2,7-二辛基[1]苯并噻吩并[3,2-b]苯并噻吩)是一種新型的有機小分子薄膜晶體管有源層材料,對薄膜晶體管性能的測試主要是測試晶體管的Id-Vg曲線,根據(jù)Id-Vg曲線求出晶體管的遷移率、閾值電壓、開光比、亞閾值斜率,依據(jù)Id-Vd曲線判斷晶體管工作電壓的飽和區(qū)域和線性區(qū)域。現(xiàn)有技術(shù)CN107195781A公開了一種基于PMMA/C8-BTBT摻雜小分子的高遷移率晶體管,該晶體管的遷移率和閾值電壓的測試依然采用傳統(tǒng)的真空條件測試方法,操作復(fù)雜,對設(shè)備要求高,測試成本高。
因此,提供一種基于有機小分子薄膜晶體管的環(huán)境氣體檢測方法對于優(yōu)化薄膜晶體管的氣氛檢測具有非常重要的意義,可以極大的簡化檢測方法,優(yōu)化檢測方法的準(zhǔn)確性。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有利用薄膜晶體管進行氣氛檢測的缺陷和不足,提供一種基于有機小分子薄膜晶體管的環(huán)境氣體檢測方法,該測試方法通過不同氣氛的測試及研究,實現(xiàn)高穩(wěn)定性、高遷移率的器件制備和測試,基于C8-BTBT有源層在不同氛圍下表現(xiàn)的不同特性,根據(jù)此有源層制備的晶體管不同氛圍下具有不同遷移率和閾值電壓來達(dá)到測試環(huán)境氛圍的目的。
本發(fā)明上述目的通過以下技術(shù)方案實現(xiàn):
一種基于有機小分子薄膜晶體管的環(huán)境氣體檢測方法,包括如下步驟:
S1.建立標(biāo)準(zhǔn)曲線:將有機小分子半導(dǎo)體薄膜晶體管依次置于一系列不同氣氛環(huán)境中,分別測得所述有機小分子半導(dǎo)體薄膜晶體管在各氣氛下飽和區(qū)的傳輸特性曲線,根據(jù)該傳輸特性曲線計算出不同氛圍下有機小分子半導(dǎo)體薄膜晶體管的遷移率、閾值電壓,從而得到遷移率-氛圍標(biāo)準(zhǔn)曲線、閾值電壓-氛圍標(biāo)準(zhǔn)曲線;
S2.環(huán)境氣氛測試:將有機小分子半導(dǎo)體薄膜晶體管置于待測環(huán)境中,測得其飽和區(qū)的傳輸特性曲線,根據(jù)該傳輸特性曲線計算得到有機小分子半導(dǎo)體薄膜晶體管在待測環(huán)境中的遷移率μsat和閾值電壓VTH,將μsat、VTH代入上述遷移率-氛圍標(biāo)準(zhǔn)曲線和閾值電壓-氛圍標(biāo)準(zhǔn)曲線,共同驗證,即可得到待測環(huán)境氛圍。
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