[發明專利]一種電子光學分析系統提供有波長可調諧激光器

在審

• 申請號: 201910168618.1
• 申請日: 2019-03-06
• 公開（公告）號: CN109698463A
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 張家利
• 申請（專利權）人: 濰坊科技學院
• 主分類號: H01S5/00
• 分類號: H01S5/00;H01S5/06
• 代理公司: 北京匯捷知識產權代理事務所(普通合伙) 11531
• 代理人: 馬金華

本發明公開了一種電子光學分析系統提供有波長可調諧激光器，包括波長調諧光腔以及設置于波長調諧光腔內的激光器二極管、激光凸透鏡、光柵、平面鏡、輸出鏡、擴束望遠鏡、調諧旋轉軸；所述激光器二極管，用于生成激光并輸出激光。本發明中的波長可調諧激光器，通過在光柵的零級輸出一側增加一個垂直于光柵的平面鏡，激光通過光柵的零級衍射經平面鏡反射后平行于光軸輸出，采用了這種結構效果很好，可以確保輸出的光束位置不變，解決了以往的技術中給激光束的測量分析及應用所造成的麻煩，而且光柵旋轉易于調節，便于激光通過調節光柵的轉動來調諧波長。

技術領域

本發明涉及電子光學技術領域，尤其涉及一種電子光學分析系統提供有波長可調諧激光器。

背景技術

當前，在電子光學分析系統中所提供的波長可調諧激光器，可以根據需要進行光波長的改變，是通過改變注入電流，使發光材料的折射率發射改變，從而在一定范圍內改變和控制激光器的輸出波長，其主要考慮的性能指標是波長調諧速度和波長調諧范圍。

實現激光波長調諧的原理大致有三種。大多數可調諧激光器都使用具有寬的熒光譜線的工作物質。第一種是通過某些元件(如轉動調節光柵)改變諧振腔低損耗區所對應的波長來改變激光的波長。第二種是通過改變某些外界參數(如磁場、溫度等)使激光躍遷的能級移動。第三種是利用非線性效應實現波長的變換和調諧(見非線性光學、受激喇曼散射、光二倍頻，光參量振蕩)。

目前，激光器中用光柵作為波長選擇器具有色散大、線性好的優點。一般使用一級振蕩的自準直方式。由于光柵的損耗較大，所以用于低增益的激光器時，要采用光柵的零級衍射(即通過光柵衍射裝置分光后,擁有能量最大的波段就是零級)作拙合輸出，但零級的方向隨光柵轉動而不斷變化。當前的電子光學分析系統技術中也曾經介紹過光柵的各種藕合方式，可使零級輸出的方向保持不變，但光束的位置要移動，這就給激光束的測量分析及應用造成了麻煩。

發明內容

基于背景技術存在的技術問題，本發明提出了一種電子光學分析系統提供有波長可調諧激光器。

本發明提出的一種電子光學分析系統提供有波長可調諧激光器，包括波長調諧光腔以及設置于波長調諧光腔內的激光器二極管、激光凸透鏡、光柵、平面鏡、輸出鏡、擴束望遠鏡、調諧旋轉軸；

所述激光器二極管，用于生成激光并輸出激光；

所述激光凸透鏡，用于將激光器二極管所輸出的激光進行透射聚焦并傳輸至光柵；

所述光柵的旋轉調諧，用于改變所接受到的激光的波長，并使得激光通過光柵衍射至平面鏡上；

所述平面鏡，用于將激光進行反射至輸出鏡；

所述輸出鏡，用于輸出激光并通過擴束望遠鏡將激光進行擴大光束，并將擴束后的激光進行輸出；

所述平面鏡與光柵零級輸出一側的平面相互垂直，且平面鏡和光柵的交線與調諧旋轉軸重合；

所述平面鏡與光柵的交線處設有旋轉調節機構，所述旋轉調節機構包括固定套接在調諧旋轉軸上的旋轉軸套接柱，且平面鏡與光柵交線處的端面分別與旋轉軸套接柱固定連接；所述旋轉軸套接柱的一端設有旋轉軸轉動支架，所述調諧旋轉軸的一端轉動貫穿旋轉軸轉動支架并延伸至旋轉軸轉動支架的外側，且固定套接有旋轉齒輪，所述旋轉齒輪的一側傳動嚙合有驅動柱，所述驅動柱的底端固定安裝有滑動座，且滑動座的一側滑動安裝在旋轉軸轉動支架的一側，位于滑動座下側的旋轉軸轉動支架上固定安裝有電動伸縮桿，且電動伸縮桿的輸出端與滑動座的底部固定連接。

優選的，所述驅動柱靠近旋轉齒輪的一側設有齒輪槽，所述驅動柱通過齒輪槽與轉齒輪進行嚙合傳動連接。

優選的，所述滑動座靠近旋轉軸轉動支架的一側固定連接有滑動塊，所述旋轉軸轉動支架的一側設有滑動槽，且滑動塊滑動安裝在滑動槽內。