[發明專利]一種避免假性瑕疵的晶圓流片表面平整度檢測裝置

有效

• 申請號: 201910165714.0
• 申請日: 2019-03-06
• 公開（公告）號: CN110021534B
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 周淑英;黃梅玉;駱偉秋;饒榕琦
• 申請（專利權）人: 深圳思謀信息科技有限公司;上海思謀科技有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 佛山市智匯聚晨專利代理有限公司 44409
• 代理人: 曹麗敏

1.一種避免假性瑕疵的晶圓流片表面平整度檢測裝置，其結構包括測試架（1）、掃描板（2）、輸送臺（3），所述測試架（1）與掃描板（2）軌道連接，所述掃描板（2）螺紋連接有螺紋桿（20），所述螺紋桿（20）安裝在測試架（1）上，所述測試架（1）與輸送臺（3）鎖定，其特征在于：

所述輸送臺（3）由圍框（30）、鎖孔（31）、鎖板（32）、內部裝置（33）組成，所述圍框（30）裝設有鎖孔（31）、鎖板（32），所述內部裝置（33）安裝在圍框（30）上；

所述內部裝置（33）包括內部框架（330）、升降裝置（331）、內部掃描裝置（332）、儲倉（333），所述內部框架（330）與升降裝置（331）焊接，所述內部掃描裝置（332）安裝在內部框架（330）上，所述內部框架（330）設有儲倉（333），所述升降裝置（331）包括升降固定桿（3310）、焊桿（3311）、焊球（3312）、升降移動桿（3313），所述焊桿（3311）與焊球（3312）焊接，所述升降固定桿（3310）、升降移動桿（3313）穿過焊球（3312），所述升降固定桿（3310）鎖定有彈性扣圓（33100）；

所述內部掃描裝置（332）包括側掃描架（3320）、移動傳動器（3321），所述側掃描架（3320）與移動傳動器（3321）貼合，所述側掃描架（3320）包括鐮架（33200）、鐮形掃描器（33201）、橫架（33202），所述鐮形掃描器（33201）安裝在鐮架（33200）上，所述鐮架（33200）與橫架（33202）鎖定，所述移動傳動器（3321）包括定軌焊架（33210）、焊盤（33211）、傳動皮帶（33212）、傳動皮帶輪（33213），所述焊盤（33211）與定軌焊架（33210）、傳動皮帶輪（33213）焊接，所述傳動皮帶（33212）與傳動皮帶輪（33213）貼合，所述鐮架（33200）與鐮形掃描器（33201）為弧形結構，所述鐮形掃描器（33201）活動連接在鐮架（33200）上，所述橫架（33202）為L形結構，所述橫架（33202）與內部框架（330）貼合并且二者軌道連接；

將檢測裝置安裝在流水線生產設備上，當晶圓輸送至檢測裝置時掃描板（2）對晶圓進行掃描，若為合格品則在輸送臺（3）上繼續輸送至下道工序，若檢測出殘質品，內部裝置（33）進行運行，升降移動桿（3313）下移帶動晶圓的下移，通過內部掃描裝置（332）對晶圓進行二次掃描檢測，內部掃描裝置（332）運行時由移動傳動器（3321）帶動側掃描架（3320）移動，實現掃描距離拉近，提高掃描準確度，掃描時鐮形掃描器（33201）在鐮架（33200）上沿著鐮架（33200）左側弧面上下移動，使掃描更加全面，接著由內部掃描裝置332判斷晶圓是否為假性瑕疵,側面掃描判斷晶圓與塵屑或細微的零件為分離狀態，則為假性瑕疵，若為假性瑕疵則升降裝置（331）將其上升回位繼續輸送至下道工序，若非假性瑕疵,則直接從下移處輸送至下道工序進行返工，完成輸送后升降裝置（331）整體上升回位，便于新的晶圓進行加工掃描。